[实用新型]一种制备4N纯度硫化氢气体的系统有效
申请号: | 202020564035.9 | 申请日: | 2020-04-15 |
公开(公告)号: | CN212024774U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 赵毅;计燕秋;刘颖;冯凯;赵趫;王天源 | 申请(专利权)人: | 大连科利德光电子材料有限公司 |
主分类号: | C01B17/16 | 分类号: | C01B17/16;B01D53/04 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 周媛媛;李馨 |
地址: | 116000 辽宁省大*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 纯度 硫化氢 气体 系统 | ||
本实用新型公开了一种制备4N纯度硫化氢气体的系统,包括依次连接的工业硫化氢钢瓶、缓冲罐、流量计、活性炭吸附器、硅胶吸附器、带冷源的收集钢瓶;所述活性炭吸附器为串联的2个活性炭吸附器;所述硅胶吸附器为串联的2个硅胶吸附器。高纯硫化氢是一种重要的化工原料,是在工业硫化氢的基础上经过进一步提纯,其主要应用在国防化工、电子半导体等行业。
技术领域
本实用新型涉及制备4N纯度硫化氢气体的系统。
背景技术
目前硫化氢气体除了在国防化工、电放光、光导体中继续发挥重要作用外,近年来在半导体行业和光伏也是迅猛发展。
目前生产和纯化硫化氢气体的方法有很多,中国专利号CN108392948A指出,对甲醇洗酸性气通过6级变压吸附,采用氧化铝、硅胶、沸石、活性炭等不同分子筛进行气相杂质的吸附得到99.5%硫化氢产品。
中国专利申请号CN201511001246.1指出,使用甲醇洗酸性气为原料,经过浓缩、闪蒸、精馏可得到含量大于99%产品。
中国专利申请号CN201320831012.X指出,使用甲醇洗酸性气经过闪蒸、再生、浓缩、精馏可得到含量大于99.5%产品。
现在国内提纯硫化氢气体首先将酸气降温,通过精密过滤器后通入到精馏塔中进行精馏,得到含量大于99.5%的硫化氢产品。精馏主要利用各挥发性物质沸点的差异来分离,但由于丙烯沸点-47.4℃和硫化氢沸点-60.4℃接近,精馏难以分离,一般精馏得到的硫化氢气体纯度只能达到99.5%。
实用新型内容
本实用新型的目的是进一步提高硫化氢产品的质量,提供一种工艺操作简单、成本低廉、可实现工业化的4N(99.99%)纯度硫化氢气体的制备系统。
本实用新型的技术方案是,
本实用新型提供一种制备4N纯度硫化氢气体的系统,包括依次连接的:工业硫化氢钢瓶、缓冲罐、流量计、活性炭吸附器、硅胶吸附器、带冷源的收集钢瓶;
所述活性炭吸附器为串联的2个活性炭吸附器;所述活性炭吸附器内含有酸化氧化处理后的果壳活性炭;
所述硅胶吸附器为串联的2个硅胶吸附器。
所述活性炭吸附器和硅胶吸附器外部有包含恒温水的管道。
本实用新型提供一种制备4N纯度硫化氢气体的方法,采用上述系统,包括将99.5%液体硫化氢气化后依次通过改性活性炭恒温吸附和硅胶干燥后,收集到4N纯度的产品。
所述酸化氧化处理为将DV-11型椰壳活性炭浸入稀硝酸(质量分数16%~20%)中2h,100~110℃下烘干。
优选的是,所述吸附压力为1.0~1.2MPa,优选为1.1~1.2MPa。
优选的是,所述吸附温度为10~30℃,优选为10~15℃。更但高的压力和低的温度会造成废气量增加。冷源和热源为水,通过制冷机或模温机恒温。
吸附器的再生方法为恒温再生法,再生温度优选为125~135℃,更优选为130~135℃。再生压力为常压,再生时间优选为4~6h,更优选为6h。
本实用新型选用了经过酸化改性的果壳活性炭作为吸附剂,降低了常规活性炭对硫化氢的吸附量,可深度去除硫化氢气体中的丙烯,使用硅胶脱除硫化氢中的水分,使产品的纯度达到4N水平。
附图说明
图1是本实用新型的制备4N纯度硫化氢气体的系统结构示意图;图中,1、工业硫化氢钢瓶;2、缓冲罐;3、流量计;4、活性炭吸附器Ⅰ;5、活性炭吸附器Ⅱ;6、硅胶吸附器Ⅰ;7、硅胶吸附器Ⅱ;8;带冷源的收集钢瓶。
具体实施方式
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