[实用新型]垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪

权利要求书

1.一种垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：包括固定架、移动架、位移测量模块、针杆、触针和导向装置，所述移动架竖向滑动连接于所述固定架上，所述移动架包括顶板、竖板和底板，所述竖板的两端分别与所述顶板和所述底板固定连接，所述针杆的顶端与所述顶板的下表面弹性连接，所述底板上设有所述导向装置，所述导向装置能够用于对所述针杆进行竖向导向以防止所述针杆摆动，所述针杆的底端固定设置有所述触针，所述针杆穿过所述导向装置，所述触针贯穿所述底板，所述位移测量模块用于测量所述针杆竖直方向上的移动距离。

2.根据权利要求1所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：所述位移测量模块包括反射部和激光干涉仪，所述反射部为固定设置在所述针杆顶端的镀银层，所述反射部与所述针杆的中心线垂直设置，所述激光干涉仪的光路中心与所述针杆的中心线重合。

3.根据权利要求1所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：所述导向装置包括垂直基准模块，所述针杆上沿周向设有多个导向半球，所述垂直基准模块包括多个滑块，所述滑块的数量与所述导向半球的数量相同，各所述滑块的内壁设有V形凹槽，各所述V形凹槽的两侧壁均与一个所述导向半球点接触，所述移动架的底板上设有至少一个定位销，至少一个所述滑块上设有定位孔且所述定位销能够伸入所述定位孔中。

4.根据权利要求1所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：所述顶板的底面固定设置有振膜，所述针杆的顶端与所述振膜的中心通过环氧树脂薄粘接。

5.根据权利要求1所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：包括压力控制模块，所述压力控制模块包括距离调节装置和压力传感器，所述固定架上固定设置有距离调节装置，所述距离调节装置竖直设置，所述距离调节装置通过沿竖直方向微调所述移动架来调节所述触针与待测工件表面的距离，所述距离调节装置的底端顶紧在所述顶板的上表面上，所述压力传感器设置于待测产品下方用于监测待测样品所受压力。

6.根据权利要求5所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：所述针杆的顶端与所述顶板的下表面通过弹簧弹性连接，所述弹簧处于拉伸状态，各所述弹簧竖直设置且各所述弹簧关于所述距离调节装置对称设置。

7.根据权利要求5所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：所述距离调节装置为深度千分尺，所述深度千分尺的测微螺杆顶紧在所述顶板上，所述深度千分尺的尺架与所述固定架固定连接。

8.根据权利要求7所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：所述顶板的上表面设有连接块，所述深度千分尺的测微螺杆顶紧在所述连接块上。

9.根据权利要求3所述的垂直式表面粗糙度测头，其特征在于：各所述滑块上设有滑动槽，两相邻的所述滑块之间设有滑动条，两相邻的所述滑块中，所述滑动条的一端与一个所述滑块固定连接，所述滑动条的另一端与另一个所述滑动槽滑动连接，各所述滑块的外侧壁均为曲面且曲率半径相同，通过使所述滑动条沿所述滑动槽移动来使没有设置所述定位孔的所述滑块沿所述针杆的径向移动。

10.一种表面粗糙度仪，其特征在于：包括架体、移动装置和权利要求1～9任意一项所述的垂直式表面粗糙度测头，所述固定架与所述架体连接，所述架体上固定设有所述移动装置，所述移动装置能够驱动所述固定架水平移动。