[实用新型]一种大动态范围PCB表面图像精密测量装置

权利要求书

1.一种大动态范围PCB表面图像精密测量装置，其特征在于，包括：照明光源(101)、照明光阑(102)、分光器（103）、成像光阑（104）和相机（105），所述照明光源(101)设置于分光器（103）的进光侧，所述相机（105）设置于分光器（103）的第一出光侧，所述分光器（103）的第二出光侧朝向被测量的PCB板，所述照明光源(101)发出的照明光进入分光器（103）的进光侧并从分光器（103）的第二出光侧照射到PCB板表面，所述照明光被PCB板表面反射形成的成像光进入分光器（103）并从分光器（103）的第一出光侧照射到相机（105），所述照明光阑（102）沿照明光的光路设置于照明光源(101)和分光器（103）之间，所述照明光阑（102）开设有环形通光孔，所述成像光阑（104）沿成像光的光路设置于分光器（103）和相机（105）之间，所述成像光阑（104）开设有圆形通光孔。

2.根据权利要求1所述的大动态范围PCB表面图像精密测量装置，其特征在于，所述圆形通光孔的边缘为锯齿形。

3.根据权利要求1所述的大动态范围PCB表面图像精密测量装置，其特征在于，所述照明光阑(102)、成像光阑（104）分别为镀膜透明片材。

4.根据权利要求1所述的大动态范围PCB表面图像精密测量装置，其特征在于，所述照明光阑(102)、成像光阑（104）分别为镂空金属片材，所述环形通光孔由至少2个扇形通光孔拼接而成。

5.根据权利要求1所述的大动态范围PCB表面图像精密测量装置，其特征在于，还包括用于将照明光由发散光整形为准直光的光源整形镜片组（106），所述光源整形镜片组（106）沿照明光的光路设置于照明光源(101)和照明光阑（102）之间。

6.根据权利要求1所述的大动态范围PCB表面图像精密测量装置，其特征在于，还包括用于对照明光实现无限远校正成像的成像镜片组（107），所述成像镜片组（107）沿照明光的光路设置于分光器（103）和被测量的PCB表面之间。

7.根据权利要求1所述的大动态范围PCB表面图像精密测量装置，其特征在于，还包括用于对于成像光进行相差校正的汇聚镜片组（108），所述汇聚镜片组（108）沿成像光的光路设置于成像光阑（104）和相机（105）之间。