[实用新型]一种五氟化磷合成装置

权利要求书

1.一种五氟化磷合成装置，其特征在于，包括：

一反应室，其内设置若干并联连接的螺旋状的管式反应器，其外壁上设有冷却夹套；

一固体加料器，设置在所述反应室的顶端，包括一料仓、一固体分布器及若干个螺旋加料器，所述料仓的顶部设置固体加料口，若干所述螺旋加料器设置在所述固体分布器的底部，与若干个所述管式反应器一一对应设置，每个所述螺旋加料器的出口通过管道与对应的所述管式反应器的上端相连通；每个所述螺旋加料器的内置螺旋均水平设置；

一气体加料器，设置在所述反应室的底端；

所述管式反应器，其顶端与所述固体加料器相连通，其底端与所述气体加料器相连通，其上部设有五氟化磷出气口。

2.根据权利要求1所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述管道上设置单向阀，所述单向阀为电磁阀。

3.根据权利要求2所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述固体分布器呈上端开口大下端开口小的漏斗状，所述固体分布器的上端开口与所述料仓的下端相适配。

4.根据权利要求3所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述料仓的顶部还设有用于抽真空的真空口及氮气进口。

5.根据权利要求1所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述反应室还包括外筒体，所述外筒体内部设置若干所述管式反应器，所述外筒体与所述管式反应器之间的间隙中还设有冷却介质。

6.根据权利要求5所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述管式反应器的螺旋的任意径向剖面的垂直对称轴与水平面的夹角20～60°。

7.根据权利要求5所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述外筒体的外壁上还设置有振动器。

8.根据权利要求5所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述外筒体上设置温度传感器和压力传感器。

9.根据权利要求1所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述气体加料器包括：

一气体分布器，其上设置氟气进口，其内腔与所述管式反应器的底端相连通；

一灰分仓，连通在所述气体分布器的底端。

10.根据权利要求9所述的五氟化磷合成装置，其特征在于，所述灰分仓的底部设有固体放料阀。