[实用新型]一种等离子体设备

权利要求书

1.一种等离子体设备，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)内设置有第一进出料机构(2)、第二进出料机构(3)和等离子体机构(4)，三者间隔相平行设置，所述等离子体机构(4)位于机架(1)的中轴线，所述第一进出料机构(2)和第二进出料机构(3)分设在等离子体机构(4)左右两侧，所述第一进出料机构(2)和第二进出料机构(3)分别向等离子体机构(4)的左右两侧进出料设置；

所述等离子体机构(4)包括等离子体真空腔体(41)，所述等离子体真空腔体(41)固设在机架(1)内，且位于机架(1)的侧边设置，所述等离子体真空腔体(41)内设置有若干板架导轨(42)，所述板架导轨(42)固设在等离子体真空腔体(41)的底部，板架导轨(42)与板架导轨(42)之间相间隔平行设置，所述等离子体真空腔体(41)内设置有电极板(43)，在板架导轨(42)与板架导轨(42)之间的间隔内设置，所述等离子体真空腔体(41)的前端上开设有若干窗口，每一窗口与板架导轨(42)相一一对应设置，每一所述板架导轨(42)上均设置有滑动的装料机构(44)，当装料机构(44)沿板架导轨(42)向前或向后移动时，装料机构(44)伸出等离子体真空腔体(41)呈打开结构或伸入等离子体真空腔体(41)内并与窗口相碰接呈密封结构设置。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体设备，其特征在于：所述第一进出料机构(2)和第二进出料机构(3)为相同的结构设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种等离子体设备，其特征在于：所述第一进出料机构(2)包括进料传输平台(21)、出料传输平台(22)及机械手(23)，所述进料传输平台(21)和出料传输平台(22)相对间隔设置，所述机械手(23)位于进料传输平台(21)和出料传输平台(22)之间，且机械手(23)活动于进料传输平台(21)、出料传输平台(22)和等离子体机构(4)设置。

4.根据权利要求3所述的一种等离子体设备，其特征在于：所述进料传输平台(21)和出料传输平台(22)为相同的结构设置，均包括传输平台(24)，所述传输平台(24)设置在机架(1)内，所述传输平台(24)上设置有产品放置座(25)，可在传输平台(24)上移动设置。

5.根据权利要求4所述的一种等离子体设备，其特征在于：所述产品放置座(25)由底座和V型板构成，底座设置在传输平台(24)上，所述V型板固设在底座上，且V型板开口角度在30°至90°。

6.根据权利要求1所述的一种等离子体设备，其特征在于：所述装料机构(44)包括悬挂式板架(45)，板架导轨(42)上设置有滑动的悬挂式板架(45)，所述悬挂式板架(45)的长度小于或等于板架导轨(42)的长度，所述悬挂式板架(45)为框体结构，框体结构的所述悬挂式板架(45)的底端开设有产品放置槽(46)，框体结构的所述悬挂式板架(45)的前端上设置有密封条，朝向窗口并与窗口相配合，构成内嵌式密封结构；

所述等离子体真空腔体(41)的下方设置有支撑导轨(47)，所述支撑导轨(47)的长度大于或等于悬挂式板架(45)和板架导轨(42)两者总和的长度，所述支撑导轨(47)上设置有滑块(48)，所述滑块(48)通过第一连杆(49)与悬挂式板架(45)的前端相固定，所述第一连杆(49)与第一驱动装置(410)的驱动杆相连，当第一驱动装置(410)驱动时，悬挂式板架(45)沿板架导轨(42)进入至等离子体真空腔体(41)内，使悬挂式板架(45)的密封条与窗口相内嵌密封设置。

7.根据权利要求6所述的一种等离子体设备，其特征在于：所述等离子体真空腔体(41)的上方设置有第二驱动装置(411)，所述第二驱动装置(411)的驱动杆通过第二连杆(412)与悬挂式板架(45)的前端相连。

8.根据权利要求6所述的一种等离子体设备，其特征在于：所述第一驱动装置(410)和第二驱动装置(411)为气缸。