[实用新型]分区多工位太阳能电池激光加工设备

说明书

本实用新型公开了一种分区多工位太阳能电池激光加工设备，其可减少振镜的频繁加减速操作，提高了设备加工效率，可降低能源消耗，降低投入成本，其包括至少两列竖向并行布置的输送轨道，两列输送轨道交替输送，每列输送轨道上分别设置有加工区，加工区上方对应设置有激光分区加工装置，每列输送轨道上的加工区分别包括至少两个横向平行布置的加工工位，每个加工工位上分别放置有待加工产品。

技术领域

本实用新型属于太阳能光伏电池激光加工技术领域，涉及一种分区多工位太阳能电池激光加工设备。

背景技术

太阳能电池片生产流程一般包括硅片检测、制绒、扩散、激光掺杂、蚀刻、镀膜、激光开膜、印刷、烧结等，其中至少两道工序涉及到激光设备的应用，现有太阳能电池片激光加工设备采用一台激光器对应一台振镜的方式进行加工，设备的加工效率取决于激光扫描时间和电池片的传输时间，硅片通过机械机构传输到加工工位，但是现有的硅片传输装置为单工位结构，单个工位进行加工时，下一片硅片必须等待加工工位上的硅片加工完毕才能传输到位。在目前的技术条件下，由于激光器和振镜性能的提高，硅片的传输时间已经成为设备加工效率的短板，限制了设备产能的进一步提高。

现有技术中提供了一种双工位激光加工设备，其激光加工区域可以同时容纳两个工位，两个加工工位轮流加工物料，减少了激光加工等待的时间，从而使加工效率大大提高，但是，在采用振镜对两个工位的物料进行加工的过程中，振镜加工的起始和结尾处都存在加减速，即振镜一个加工周期，各工位上的加工区需经历加速、匀速、减速的过程，且每个工位上加工区域内只放置有一片晶圆，使得振镜在一个周期中的匀速时间较短，振镜需进行频繁的加减速操作，频繁的加减速操作，增加了单片产品加工所需的时间，而且损耗较大，降低振镜的使用寿命，此外能源消耗较多，使投入成本较高。

实用新型内容

针对现有技术中存在的振镜频繁的加减速操作，增加了单片产品加工所需的时间，同时还会使得振镜损耗较大寿命降低，以及能源消耗大，投入成本高的问题，本实用新型提供了一种分区多工位太阳能电池激光加工设备，其可减少振镜的频繁加减速操作，减少了单片产品加工所需的时间，提高加工效率，同时可降低能源消耗，降低投入成本。

一种分区多工位太阳能电池激光加工设备，其包括至少两列竖向并行布置的输送轨道，两列所述输送轨道交替输送，每列所述输送轨道上分别设置有加工区，所述加工区上方对应设置有激光分区加工装置，所述激光分区加工装置包括振镜，其特征在于，每列所述输送轨道上的加工区分别包括至少两个横向平行布置的加工工位，每个所述加工工位上分别放置有待加工产品。

其进一步特征在于，所述激光分区加工装置包括依次设置的激光器、光路传输装置、激光扫描装置与聚焦装置，以及激光掩膜外框；

所述光路传输装置包括光闸、反光镜、扩束镜，所述激光扫描装置为振镜，所述聚焦装置为场镜；

所述激光掩膜外框通过支撑架固定于所述加工区与所述场镜之间，所述激光掩膜外框的中部设置有与所述加工工位相对应的镂空，所述镂空的形状与所述待加工产品的形状一致，所述激光掩膜外框用于对所述场镜工作范围内的非加工区域进行遮挡；经所述聚焦装置聚焦后的激光穿过所述通孔对所述待加工产品进行加工；

所述激光器为光纤激光器、固体激光器或气体激光器；

所述输送轨道的进口端、出口端分别为上料区、下料区，相邻所述上料区的一侧设置有上料装置，相邻所述下料区的一侧设置有下料装置，所述上料装置为双丝杆机构，所述下料装置为双丝杆机构或单丝杆机构，每个所述双丝杆机构、单丝杆机构的执行端分别安装有与所述输送轨道对应的负压吸盘；

所述双丝杆机构、单丝杆机构的执行端分别安装有旋转电机，每个所述旋转电机的转轴上安装有所述负压吸盘；

所述上料装置包括定位装置，所述定位装置通过支架固定于所述负压吸盘正上方；

所述定位装置为图像采集传感器；