[实用新型]一种车床用冷冻卡盘

权利要求书

1.一种车床用冷冻卡盘，包括底卡盘(1)和胶粘在底卡盘(1)上的顶卡盘(2)，所述顶卡盘(2)与底卡盘(1)上开设有用于放置晶胚的晶胚卡头(3)，其特征在于：所述顶卡盘(2)的底面和底卡盘(1)的顶面均开设有用于放置冷气管(4)的冷气管沟槽(5)，且所述顶卡盘(2)的底面和底卡盘(1)的顶面还开设有用于放置进气管(7)的进气管沟槽(8)，所述进气管(7)与冷气管(4)相连通，且所述进气管(7)位于底卡盘(1)的外部，所述冷气管(4)的内部设置有若干用于均匀的对晶胚吹冷气的吹气口(6)。

2.根据权利要求1所述的一种车床用冷冻卡盘，其特征在于：所述进气管沟槽(8)和冷气管沟槽(5)均是由两个半圆柱状沟槽组成。

3.根据权利要求1所述的一种车床用冷冻卡盘，其特征在于：所述进气管(7)为铜制的圆形管道，且所述进气管(7)的外径等于进气管沟槽(8)的直径。

4.根据权利要求1所述的一种车床用冷冻卡盘，其特征在于：所述冷气管(4)通过密封胶固定粘合在冷气管沟槽(5)中，所述进气管(7)通过密封胶固定粘合在进气管沟槽(8)中。

5.根据权利要求4所述的一种车床用冷冻卡盘，其特征在于：所述底卡盘(1)的周沿均匀的分布有若干螺栓(9)，通过若干所述螺栓(9)将底卡盘(1)固定在车床上。