[实用新型]一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源

权利要求书

1.一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，包括LED光源组件(1)，其特征在于：所述LED光源组件(1)包括LED阵列芯片(11)，所述LED阵列芯片(11)的右侧设有聚光透镜(12)，聚光透镜(12)的右侧设有异形光学积分器(13)，所述异形光学积分器(13)的右侧设有准直透镜(14)，准直透镜(14)为平凸透镜，所述LED阵列芯片(11)、聚光透镜(12)、异形光学积分器(13)和准直透镜(14)之间通过一体化胶装方式紧密连接，且LED阵列芯片(11)、聚光透镜(12)、异形光学积分器(13)和准直透镜(14)共轴。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，其特征在于：所述LED阵列芯片(11)包括LED阵列芯片基板，所述LED阵列芯片基板的右侧均匀设有LED灯珠芯片。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，其特征在于：所述聚光透镜(12)包括连接环，且连接环的内侧右端设有凸透镜，所述异形光学积分器(13)的左端设有与凸透镜对应的弧面状凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，其特征在于：包括LED光源组件(1)、光线处理组件(2)、反射镜(3)、曝光台面组件(4),所述LED光源组件(1)的右侧上方设有光线处理组件(2)，光线处理组件(2)的中心轴线与LED光源组件(1)的中心轴线位于同一条直线，所述光线处理组件(2)的右侧上端设有反射镜(3)，反射镜(3)为弧面状结构，所述反射镜(3)与光线处理组件(2)相对应，所述反射镜(3)的下方设有对应的曝光台面组件(4)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，其特征在于：所述光线处理组件(2)包括匀光片(21)，所述匀光片(21)的右侧上方设有聚焦透镜组(22)，所述聚焦透镜组(22)由两个平凸透镜组成，且两个平凸透镜弧面相对应。

6.根据权利要求4所述的一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，其特征在于：所述曝光台面组件(4)包括曝光台面基板(42)，所述曝光台面基板(42)的上方设有掩膜板(41)。