[实用新型]制作纳米双疏材料的装置有效

专利信息
申请号: 202020583415.7 申请日: 2020-04-17
公开(公告)号: CN211999910U 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 许建民;李晓峰;伊彬;辛金菲 申请(专利权)人: 天津日津科技股份有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/505;B82Y40/00
代理公司: 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 代理人: 刘影
地址: 300000 天津市东丽区华明工*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 制作 纳米 材料 装置
【权利要求书】:

1.制作纳米双疏材料的装置,其特征在于:包括控制器(1)、二路混气系统(2)、生成器(3)、RF射频电源(4)、真空泵(5)和温控系统(6),生成器(3)包括第一支架(31)、第二支架(32)、磁力架(33)、电机(34)、第一盖板(35)、支撑环(37)、发生装置外壳(312)、第二盖板(314)和套箍(315),二路混气系统(2)上端分别设置RF射频电源(4)、第一支架(31)和第二支架(32),磁力架(33)通过电机(34)固定连接至第一支架(31)一侧,磁力架(33)和位于发生装置外壳(312)内部的支撑环(37)构成磁力旋转结构,电机(34)一端固定连接至第一盖板(35)的第一端,电机(34)线路连接至第一盖板(35),发生装置外壳(312)一端固定连接至第一盖板(35)的第二端,另一端通过套箍(315)固定连接至第二盖板(314),第一盖板(35)信号连接至温控系统(6),管路连接至二路混气系统(2),第二盖板(314)管路连接至真空泵(5),发生装置外壳(312)外围套接RF射频电源(4),二路混气系统(2)、RF射频电源(4)、真空泵(5)、温控系统(6)均信号连接至控制器(1),控制器(1)外接电源。

2.根据权利要求1所述的制作纳米双疏材料的装置,其特征在于:所述生成器(3)还包括第一胶垫(36)、轴承(38)、轴套(39)、物料架(310)、加热管(311)和第二胶垫(313),轴套(39)一端固定连接至第一盖板(35),另一端固定连接至加热管(311),轴套(39)外围依次套接轴承(38)、支撑环(37)和第一胶垫(36),支撑环(37)一侧设置若干物料架(310),加热管(311)、轴套(39)、轴承(38)、支撑环(37)和物料架(310)均位于发生装置外壳(312)内部,第一胶垫(36)位于第一盖板(35)与发生装置外壳(312)连接端口之间,第一胶垫(36)、第一盖板(35)和发生装置外壳(312)构成密封装置,第二胶垫(313)位于第二盖板(314)与发生装置外壳(312)连接端口之间,第二胶垫(313)、第二盖板(314)和发生装置外壳(312)构成密封装置。

3.根据权利要求2所述的制作纳米双疏材料的装置,其特征在于:所述第一胶垫(36)和第二胶垫(313)材质均为氟橡胶246。

4.根据权利要求2所述的制作纳米双疏材料的装置,其特征在于:所述支撑环(37)、轴承(38)和物料架(310)的材质均为陶瓷。

5.根据权利要求2所述的制作纳米双疏材料的装置,其特征在于:所述支撑环(37)包括支撑环本体(371)和第二磁铁(373),轴承(38)外围套接支撑环本体(371),支撑环本体(371)外围安装第二磁铁(373),支撑环本体(371)上设有若干通孔(372),每个物料架(310)通过穿过一个通孔(372)卡接至支撑环本体(371)上。

6.根据权利要求1所述的制作纳米双疏材料的装置,其特征在于:所述磁力架(33)包括磁力架(33)本体和第一磁铁(332),磁力架(33)本体的横截面是V行结构,磁力架(33)本体一端套接至电机(34),另一端安装第一磁铁(332)。

7.根据权利要求1所述的制作纳米双疏材料的装置,其特征在于:所述第一盖板(35)包括第一圆板(351)、螺环(352)、电机(34)座、线路管(354)和第一气管(355),电机(34)通过电机(34)座固定连接至第一圆板(351)的第一侧,第一圆板(351)的第二侧设置螺环(352),螺环(352)的横截面是圆环结构,螺环(352)内圈套接轴套(39),螺环(352)外圈套接发生装置外壳(312),第一圆板(351)第一侧还设置第一气管(355)和线路管(354),第一气管(355)管路连接至二路混气系统(2),线路管(354)信号连接至温控系统(6)。

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