[实用新型]一种多功能显影喷淋机构有效

专利信息
申请号: 202020590037.5 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN211741835U 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 周涛;黎增祺;李真明 申请(专利权)人: 南通美精微电子有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30;B05B15/68;B05B14/00;B05B13/02;B05B13/04
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董成
地址: 226001 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多功能 显影 喷淋 机构
【说明书】:

本实用新型公开了一种多功能显影喷淋机构,涉及显影喷淋装置技术领域,包括底板,所述底板的上表面固定连接有固定台,所述固定台的内部开设有操作腔,所述固定台的上表面固定连接有喷淋槽,所述喷淋槽内壁的底面固定连接有支撑筒,所述支撑筒的上表面抵接有喷淋台,所述喷淋槽的上表面固定连接有连接板,所述连接板的上表面固定连接有操作板,所述操作板的正面开设有第一限位槽和第二限位槽。本实用新型,通过上述结构之间的相互配合,达到了将显影液均匀的喷洒在基片的表面,保证了显影反应的均匀性,且对喷淋产生的废液进行收集的效果,解决了了传统显影液喷淋装置容易造成药液喷洒不均的现象发生的问题。

技术领域

本实用新型涉及显影喷淋装置技术领域,具体为一种多功能显影喷淋机构。

背景技术

显影是指用还原剂把软片或印版上经过曝光形成的潜影显现出来的过程,显影工序则包括显影、冲洗、涂胶、烘干等步骤,其中印版显影过程中,经过显影液均匀、连续地喷淋,将印版空白部位的感光层迅速溶解,但是,传统的显影液喷洒装置无法保证将药液均与的喷洒在基片的表面,无法保证显影反应的均匀性。

如中国专利CN201620732927.9公开的喷淋显影喷嘴和具有该喷嘴的喷淋显影仪,该装置包括喷嘴接口、喷嘴主体和喷口,喷嘴接口与喷嘴主体相连接,喷口设置在喷嘴主体的底部,喷嘴主体的底部设置为弧形,该装置通过喷嘴主体将显影液喷洒在基片的表面,由于该装置喷嘴主体的角度固定且单一,在喷洒药液的过程中,有可能导致基片表面的显影液分布不均,从而影响反应效果,在实际使用过程中很不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多功能显影喷淋机构,具备了将显影液均匀的喷洒在基片的表面,保证了显影反应的均匀性,且对喷淋产生的废液进行收集的优点,解决了了传统显影液喷淋装置容易造成药液喷洒不均的现象发生的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多功能显影喷淋机构,包括底板,所述底板的上表面固定连接有固定台,所述固定台的内部开设有操作腔,所述固定台的上表面固定连接有喷淋槽,所述喷淋槽内壁的底面固定连接有支撑筒。

所述支撑筒的上表面抵接有喷淋台,所述喷淋槽的上表面固定连接有连接板,所述连接板的上表面固定连接有操作板,所述操作板的正面开设有第一限位槽和第二限位槽,所述第一限位槽的内壁滑动连接有第一滑板,所述第二限位槽的内壁滑动连接有第二滑板,所述第一滑板的正面通过轴承转动连接有第一固定块,所述第二滑板的正面固定连接有第二固定块,所述喷淋槽的上表面固定连接有支撑架,所述支撑架的正面固定连接有储液箱,所述支撑架上端的内壁套接有转轴,所述转轴外侧面的前端固定连接有第一驱动杆,所述第一驱动杆远离转轴的一端铰接有第二驱动杆,所述第二驱动杆远离第一驱动杆一端的内壁与第一固定块的外侧面固定连接,所述操作板的正面铰接有转板,所述转板靠近第一固定块的一端开设有第一滑槽,所述第一固定块的外侧面沿第一滑槽的内壁滑动,所述转板靠近第二固定块的一端开设有第二滑槽,所述第二固定块的外侧面沿第二滑槽的内壁滑动,所述第一滑板和第二滑板的正面均固定连接有支撑块,两个所述支撑块的前端均固定连接有喷头,所述支撑架的背侧设置有驱动机构。

优选的,所述操作腔的内壁固定连接有第一减速机,所述第一减速机的输出轴固定连接有转柱,所述转柱的上端依次穿过喷淋槽的底端和支撑筒的内部,所述转柱的上表面与喷淋台的底面固定连接。

优选的,所述驱动机构包括支撑板,所述支撑板的上表面固定连接有第二减速机,所述第二减速机的输出轴与转轴的背侧固定连接。

优选的,两个所述喷头的上端均通过水管与储液箱的上端固定连接。

优选的,所述喷淋槽底端的内壁固定连接有输液管。

优选的,所述输液管远离喷淋槽的一端可拆卸式连接有废液筒。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

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