[实用新型]一种变温预热曝光机有效

专利信息
申请号: 202020590537.9 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN211786587U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 尹国钦;任忠平;陈绍文 申请(专利权)人: 宁波福至新材料有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人: 王亮
地址: 315800 浙江省宁波市北*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 预热 曝光
【说明书】:

实用新型公开了一种变温预热曝光机,包括机台,所述的机台的上侧设置有输送平台,所述的输送平台的上侧并排依次设置有预热箱、曝光箱和冷却箱,所述的输送平台上的待曝光金属片材由输送平台输送依次从预热箱、曝光箱和冷却箱中穿过,所述的预热箱内部设置有加热部件和温控器,所述的冷却箱的内部设置有向下吹风的冷却风扇,所述的曝光箱的内侧上部设置有发光部件。本实用新型结构简单,可以在曝光前对待曝光金属片材进行预热,以防止光胶膜产生应力脱落以及金属片材发生形变。

技术领域

本实用新型涉及曝光机领域,具体为一种变温预热曝光机。

背景技术

金属蚀刻片是将金属片材经化学浸湿后得到的带有预定图文的金属结构,其被广泛的应用于集成电路领域以及用做外观装饰件。

现有的金属蚀刻片加工方法,一般是通过在金属片材上滚涂光胶,随后通过带有预设图案的光罩进行曝光使金属片材上留下图案化的光胶膜,随后通过化学浸蚀,将金属片材上没有覆盖光胶膜的部分腐蚀,留下的部分则形成金属蚀刻片。

曝光过程的控制直接关系到最终获得金属蚀刻片的图纹精度,现有曝光过程中光线照射以及机械部件运转会造成曝光区域温度升高,特别是曝光箱中温度比较高,如果温度比较低的金属片材直接进入到温度比较高的曝光箱中,则会因为温度变化太大而导致光胶膜产生应力脱落,还有可能使金属片材发生形变,影响产品的合格率。

实用新型内容

本实用新型提供了一种变温预热曝光机,结构简单,可以在曝光前对待曝光金属片材进行预热,以防止光胶膜产生应力脱落以及金属片材发生形变。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种变温预热曝光机,包括机台,所述的机台的上侧设置有输送平台,所述的输送平台的上侧并排依次设置有预热箱、曝光箱和冷却箱,所述的输送平台上的待曝光金属片材由输送平台输送依次从预热箱、曝光箱和冷却箱中穿过,所述的预热箱内部设置有加热部件和温控器,所述的冷却箱的内部设置有向下吹风的冷却风扇,所述的曝光箱的内侧上部设置有发光部件。

输送平台上的待曝光金属片材先进入预热箱中进行预热加温,然后无缝衔接进入到曝光箱中进行曝光,曝光完成后进入到冷却箱中通过吹风进行冷却,这样产品的环境温度变化不会太大,能有效防止光胶膜产生应力脱落以及金属片材发生形变。

所述的预热箱内部的加热部件为设置在顶部的若干根加热管,若干根加热管和温控器可以使预热箱内的温度保持住,温控器可以设定预热箱内的温度,并控制加热管的工作。

作为优选,所述的曝光箱的内部也设置有温控器,同样可以控制曝光箱的温度,一旦温度太高则曝光箱会停止工作等待降温。

进一步的,所述的冷却箱的顶部和侧壁均设置有通风槽,可以保证冷却箱内的空气流通,及时带走热量。

进一步的,所述的预热箱、曝光箱和冷却箱的连接侧壁的下部设置有供待曝光金属片材和输送平台穿过的缺口,缺口的高度尽可能低一些,供待曝光金属片材穿过即可。

进一步的,所述的输送平台为输送带,其上端设置有用于限位待曝光金属片材的限位凸起,限位凸起可以是四个,设置在待曝光金属片材顶角处的位置,方便待曝光金属片材进行定位。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1.设置有预热箱,在金属片材曝光之前先进行预热,防止金属片材受到比较大的温差,以防止光胶膜产生应力脱落以及金属片材发生形变。

2.采用新的冷却箱,能快速带走金属片材表面的热量。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图;

图2为本实用新型的输送平台的俯视示意图。

具体实施方式

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