[实用新型]一种带支撑工艺管功能件的加热炉体有效
申请号: | 202020590716.2 | 申请日: | 2020-04-18 |
公开(公告)号: | CN213335572U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 张海林;刘国霞 | 申请(专利权)人: | 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 |
主分类号: | F27D11/02 | 分类号: | F27D11/02;F27D1/14;F27D1/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支撑 工艺 功能 加热炉 | ||
本实用新型公开了一种带支撑工艺管功能件的加热炉体,包括加热炉体、工艺管、端法兰、设备架体、端部挡片、支撑管、中间支撑件、炉丝、炉丝绝缘子、绝缘子拉条、保温棉、炉体壳和硅片,所述加热炉体的表面固定安装有炉体壳,所述加热炉体的内部设置有工艺管,所述工艺管的两端固定安装有端法兰,所述端法兰固定安装有设备架体。本实用新型在工艺管出现下沉变形时可以通过炉膛内部的支撑功能作用明显减轻工艺管下沉的趋势和变形量,可以实现工艺管长期使用,不需要对工艺管定期180°转位,极大的解决了工艺管的使用寿命,不用再停机、拆卸、工艺管转位操作,提高了产能,减少了工艺管损坏的成本。
技术领域
本实用新型涉及光伏生产设备技术领域,具体为一种带支撑工艺管功能件的加热炉体。
背景技术
对于光伏行业,一直追求大产能和更大产能,造就1-加热炉体一直在大幅度增长度,现在光伏需求加热炉体已经突破4米长度;同时工艺管也随之加长,需要长于加热炉体的长度,工艺管都是用两端端法兰与工艺管进行密封、连接和支撑,端法兰与设备架体固结;工作温度有些工艺也在高温(1150℃)和次高温(1050℃)的范围内;由于工艺管(常用石英管)在加热炉体内部穿过,一起经受高温实现工艺管内部硅片进行镀膜工艺过程,工艺管在长期使用中发现工艺管中部向下弯曲变形(下沉),需要每使用一段时间后进行工艺管转位 (下面转到上面)180°再使用,这样的过程麻烦、要停机、影响产能、还可能出现拆卸工艺管转位(180°)过程中造成工艺管破损而报废或工艺管弯曲过大无法继续使用的状况。半导体行业同样如此,有时温度还需要更高1200℃以上,同样是工艺管会弯曲,需要定期拆卸、旋转、再使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种带支撑工艺管功能件的加热炉体,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种带支撑工艺管功能件的加热炉体,包括加热炉体、工艺管、端法兰、设备架体、端部挡片、支撑管、中间支撑件、炉丝、炉丝绝缘子、绝缘子拉条、保温棉、炉体壳和硅片,所述加热炉体的表面固定安装有炉体壳,所述加热炉体的内部设置有工艺管,所述工艺管的两端固定安装有端法兰,所述端法兰固定安装有设备架体,所述加热炉体的内部固定安装有端部挡片,所述端部挡片相对的一侧设置有支撑管,所述支撑管的表面固定安装有中间支撑件,所述加热炉体的内部设置有保温棉,所述保温棉的内部固定安装有绝缘子,所述绝缘子的内部固定安装有炉丝绝缘子拉条,所述绝缘子的圆弧面设置有炉丝,所述工艺管的内部设置有硅片。
优选的,所述加热炉体炉膛下部,设置了两根支撑管,此支撑管采用陶瓷管或陶瓷棒。
优选的,所述支撑管通过加热炉体炉膛下部的炉丝和中间支撑件自由靠紧安装。
优选的,所述中间支撑件为多个,分别都在加热炉体长度方向设置,在两圈炉丝之间插入中间支撑件,其外径部位与加热炉体的炉体壳的金属壳体内表面安稳接触,保温材料将中间支撑件安稳固定好,左右两侧形成两组,即中间支撑件形成两列。
优选的,所述中间支撑件形成两列,在左右两列的长度两端设置端部挡片,其安装形式与中间支撑件一样的方式进行位置固定。
优选的,所述加热炉体内炉膛、炉丝、中间支撑件、端部挡片形成了一个安装空间,且支撑管设置在该空间,左右对称布置两组。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该带支撑工艺管功能件的加热炉体,在工艺管出现下沉变形时可以通过炉膛内部的支撑功能作用明显减轻工艺管下沉的趋势和变形量,可以实现工艺管长期使用,不需要对工艺管定期180°转位,极大的解决了工艺管的使用寿命,不用再停机、拆卸、工艺管转位操作,有效的提高了设备的完好率,提高了产能,减少了工艺管损坏的成本等等优势明显,且具有广阔的发展空间以及较高的推广价值。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型侧视图;
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