[实用新型]具有反光识别区的光掩模夹具有效
| 申请号： | 202020592068.4 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN211698589U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王国荃 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 反光 识别 光掩模 夹具 | ||
1.一种具有反光识别区的光掩模夹具，用于光掩模工作台，所述光掩模工作台上方具有反光识别探测器，其特征在于，所述光掩模夹具包括：
夹具框体；
光掩模窗口，位于所述夹具框体中；以及
反光识别区，位于所述夹具框体上，并与所述反光识别探测器对准设置。
2.根据权利要求1所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述反光识别区的光反射率不小于80％。
3.根据权利要求2所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述反光识别区的光反射率不小于90％。
4.根据权利要求1所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述反光识别区包括包覆或粘附于所述夹具框体上的锡纸。
5.根据权利要求1所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述反光识别区包括溅射或电镀于所述夹具框体上的金层。
6.根据权利要求1所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述夹具框体的材质包括非磁性金属。
7.根据权利要求6所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述夹具框体的材质包括铝合金。
8.根据权利要求1所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述光掩模窗口适用于4英寸～6英寸的光掩模。
9.根据权利要求1所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述反光识别区的长度介于1.5～2.5英寸之间，宽度介于0.3英寸～0.5英寸之间。
10.根据权利要求1所述的具有反光识别区的光掩模夹具，其特征在于：所述夹具框体的边缘上还具有一定位槽，所述反光识别区位于所述定位槽与所述光掩模窗口之间。
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