[实用新型]晶棒接着后接着力测量设备

说明书

一种晶棒接着后接着力测量设备，包括支撑装置、夹持装置、测量装置、牵引绳，支撑装置包括工作台、立柱、横梁、定位件，夹持装置设置在工作台的上方，测量装置设置在支撑装置的一侧，牵引绳的一端与测量装置固定连接，牵引绳的另一端与夹持装置的顶部固定连接；本实用新型通过工作台上的定位件可以使接着后的晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后的晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动，依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，然后利用测量装置牵拉牵引绳，使牵引绳拉动夹持装置，从而对接着后的晶棒进行接着力的测量，在使用的过程中，不仅操作方便，而且检测效率高。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种晶棒接着后接着力测量设备。

背景技术

晶圆在切片之前要对晶棒的晶向进行校准，校准完成后再使用接着剂将树脂条，晶棒，工件板粘接到一起，在接着后，需要保证接着剂的结合力达到要求，确保对接着后晶棒进行切片过程中不出现掉棒，如果出现掉棒，高速运转的钢线会给晶棒一个较大的动量，掉落的晶棒会砸坏设备，使设备的精度降低，同时也可能造成操作人员受伤。所以接着后晶棒与树脂板和工件板之间的结合力必须要进行测量，避免出现以上现象发生。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种晶棒接着后接着力测量设备。

一种晶棒接着后接着力测量设备，包括支撑装置、夹持装置、测量装置、牵引绳，支撑装置包括工作台、立柱、横梁、定位件，定位件固定设置在工作台的台面上，立柱对向垂直固定在工作台的两侧，立柱的上部开设有穿绳孔，立柱上部的外侧表面固定设置有侧部引导滑轮，横梁水平固定设置在两个对向设置的立柱之间，横梁位于两个立柱的上部，横梁底部中间位置固定设置有上部引导滑轮，并且上部引导滑轮正对工作台上的定位件，夹持装置设置在工作台的上方，并位于上部引导滑轮的正下方，以将粘结后的晶棒牢固夹持，测量装置设置在支撑装置的一侧，牵引绳的一端与测量装置固定连接，牵引绳的另一端依次穿过侧部引导滑轮、穿绳孔、上部引导滑轮，并与夹持装置的顶部固定连接，从而将夹持装置吊起悬空在定位件的正上方，利用测量装置的牵拉作用，对晶棒接着后的接着力进行测量。

优选的，所述夹持装置包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接。

优选的，所述可调节夹持机构包括夹持爪部件、进给部件，夹持爪部件的顶部与固定连接板的下部表面相连接，并且夹持爪部件的顶部能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，进给部件穿过夹持爪部件的上部，并与夹持爪部件丝杠连接。

优选的，所述夹持爪部件包括左部夹持爪、右部夹持爪，左部夹持爪、右部夹持爪对向安装在固定连接板的下部，右部夹持爪的上部依次等距安装有两个固定块，两个固定块的下部与右部夹持爪可拆卸连接，两个固定块的顶部与固定连接板的下部表面固定连接，左部夹持爪的上部依次等距安装有两个滑动块，两个滑动块的下部与左部夹持爪可拆卸连接，两个滑动块的顶部与固定连接板的下部表面滑动连接。

优选的，所述进给部件包括主动进给杆、从动进给杆，主动进给杆与从动进给杆并排设置，并且主动进给杆与从动进给杆通过链条连接，主动进给杆的一端固定设置有主动链轮，主动进给杆的另一端依次穿过滑动块、固定块，主动进给杆与滑动块丝杆连接，主动进给杆远离主动链轮的一端与固定块通过轴承连接，从动进给杆的一端固定设置有从动链轮，从动进给杆的另一端依次穿过滑动块、固定块，从动进给杆与滑动块丝杆连接，从动进给杆远离从动链轮的一端与固定块通过轴承连接。

优选的，所述滑动块的顶部固定设置有滑动条，滑动条与固定连接板的下部表面上设有的引导滑槽尺寸相匹配，并且滑动条能够沿引导滑槽相对滑动。