[实用新型]膜厚的检测装置

说明书

本申请提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：共通电极单元，包括共通电极；检出电极单元，与共通电极单元在第一方向相对且间隔设置，检出电极单元包括检出电极、检出电极盖板、第二框体、中间层及导电层，中间层位于检出电极盖板的表面上，导电层位于中间层远离检出电极盖板的表面上，中间层的表面粗糙度小于检出电极盖板的表面粗糙度，第二框体具有第二开口，检出电极盖板盖设在第二框体的第二开口上，第二框体与检出电极盖板形成第二容纳空间，检出电极位于第二容纳空间内，检出电极盖板的介电常数大于3.9，第一方向与检出电极盖板的厚度方向平行，共通电极单元与检出电极单元之间形成检测通道，该方案提高了膜厚检测装置的感度。

技术领域

本申请涉及膜厚检测领域，具体而言，涉及一种膜厚的检测装置。

背景技术

现有的薄膜厚度检测装置，是利用静电荷感应的原理来检测薄膜厚度的，现有的薄膜厚度检测装置工作时，在共通电极上施加脉冲信号，静电荷感应芯片上就会感应出电压信号，当待检测的薄膜从静电荷感应芯片上方通过时，静电荷感应芯片上的电压就会发生变化，电压的变化大小与所通过薄膜的性质和厚度有关，由于检出电路与检出电极电连接，并且检出电路的电路结构能够将获得的电压变化值转变成待检测薄膜的厚度，因此检出装置能够检测出待检测薄膜的厚度，进而得出薄膜的厚度是否异常，其表面是否有异物、缺损或者折叠。ITO层能够有效屏蔽待检测薄膜通过薄膜厚度检测装置时，与共通电极盖板及检出电极盖板摩擦产生的静电荷，并且还能屏蔽待检测薄膜本身所携带的静电荷，从而消除这些静电荷对检出电极的电压变化造成的干扰，提高了检测信号的准确性。

目前已公开的上述薄膜厚度检测装置，共通电极单元与检出电极单元所用盖板主要为玻璃材质的。上述薄膜厚度检测装置存在以下缺点：1.介电常数较小，对于薄膜厚度的检测精度低；2.感度低，对于薄膜厚度的检测精度低；3.玻璃材质的盖板硬度低、易碎且易磨损，造成薄膜厚度检测装置的结构强度及稳定性差，在环境温度变化及受外力情况下产品易变形，使用寿命短；3.有的则表面粗糙、凹凸不平、表面易附着污物不易清洁，导致ITO层不易附着在盖板上，以及导致ITO层在其表面不同位置的附着力不同，从而制作出的ITO层厚度及阻值不均匀，使得薄膜厚度检测装置不同位置的感度差异大，对薄膜厚度检测的准确度低；

在背景技术部分中公开的以上信息只是用来加强对本文所描述技术的背景技术的理解，因此，背景技术中可能包含某些信息，这些信息对于本领域技术人员来说并未形成在本国已知的现有技术。

实用新型内容

本申请的主要目的在于提供一种膜厚的检测装置，以解决现有技术中薄膜厚度检测装置的厚度检测的准确度低的问题。

为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：共通电极单元，包括共通电极；检出电极单元，与所述共通电极单元在第一方向相对且间隔设置，所述检出电极单元包括检出电极、检出电极盖板、第二框体、中间层及导电层，所述中间层位于所述检出电极盖板的表面上，所述导电层位于所述中间层远离所述检出电极盖板的表面上，所述中间层的表面粗糙度小于所述检出电极盖板的表面粗糙度，所述第二框体具有第二开口，所述检出电极盖板盖设在所述第二框体的所述第二开口上，所述第二框体与所述检出电极盖板形成第二容纳空间，所述检出电极位于所述第二容纳空间内，所述检出电极盖板的介电常数大于3.9，所述第一方向与所述检出电极盖板的厚度方向平行，所述共通电极单元与所述检出电极单元之间形成检测通道。

进一步地，所述中间层位于第一表面上和/或第二表面上，所述第一表面为所述检出电极盖板靠近所述检出电极的表面，所述第二表面为所述检出电极盖板远离所述检出电极的表面。

进一步地，所述检出电极单元还包括第二线路板，所述第二线路板位于所述第二容纳空间内，且所述检出电极设置在所述第二线路板的靠近所述检出电极盖板的表面上。

进一步地，所述检测装置还包括静电荷感应芯片，所述静电荷感应芯片包括多个所述检出电极。