[实用新型]一种基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置

权利要求书

1.一种基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，该装置包括：测量腔(1)、表面波成像基底(2)、油浸显微物镜(3)、显微成像组件(4)、表面波激发组件(5)、偏振滤波器件(6)和成像探测器(7)；其中，

所述测量腔(1)设置在所述表面波成像基底(2)上；

所述表面波成像基底(2)的下方依次设置所述油浸显微物镜(3)、所述显微成像组件(4)、所述偏振滤波器件(6)和成像探测器(7)；

所述油浸显微物镜(3)设置在所述显微成像组件(4)的前端；

所述表面波激发组件(5)设置在所述显微成像组件(4)的侧面，该表面波激发组件(5)的出射光依次经所述显微成像组件(4)、所述油浸显微物镜(3)、所述表面波成像基底(2)至所述测量腔(1)，再由所述测量腔(1)依次经所述表面波成像基底(2)、所述油浸显微物镜(3)、所述显微成像组件(4)和所述偏振滤波器件(6)到达所述成像探测器(7)形成检测光路。

2.根据权利要求1所述的基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，所述表面波成像基底(2)采用金属纳米薄膜或多层介质纳米薄膜。

3.根据权利要求2所述的基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，所述金属纳米薄膜采用支持表面等离激元模式的纳米级厚度的金薄膜或银薄膜；

所述多层介质纳米薄膜为支持表面布洛赫波模式的由高低折射率交替组成的多层纳米薄膜。

4.根据权利要求1至3任一项所述的基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，所述油浸显微物镜(3)采用具有高数值孔径的油浸显微物镜(3)。

5.根据权利要求1至3任一项所述的基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，所述显微成像组件(4)包括：壳体、分束镜(8)和成像管镜(9)；其中，

所述成像管镜(9)设置在所述壳体内的后端，远离所述油浸显微物镜(3)；

所述分束镜(8)倾斜设置在所述成像管镜(9)与所述油浸显微物镜(3)之间的所述壳体内。

6.根据权利要求1至3任一项所述的基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，所述表面波激发组件(5)包括：

宽带线偏振镜(14)、宽带半波片(13)、第一扫描振镜(12)、第二扫描振(11)和聚光镜(10)；其中，

所述宽带线偏振镜(14)、宽带半波片(13)和第一扫描振镜(12)从后至前依次间隔呈一条直线设置；

所述第二扫描振(11)处于所述第一扫描振镜(12)的正上方，所述第二扫描振(11)与所述第一扫描振镜(12)同向倾斜设置；

所述聚光镜(10)间隔设置于所述第二扫描振(11)的后方，与所述第二扫描振(11)呈直线排列。

7.根据权利要求1至3任一项所述的基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，所述偏振滤波器件(6)的偏振方向与所述表面波激发组件(5)出射光的偏振方向正交。

8.根据权利要求1至3任一项所述的基于表面波成像的大气超细颗粒物吸湿增长检测装置，其特征在于，所述成像探测器(7)采用具有毫秒级的时间分辨率的成像探测器，表面波激发组件(5)采用具有毫秒级的时间分辨率的表面波激发组件。