[实用新型]显示基板和显示面板有效
申请号: | 202020613742.2 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN212113723U | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 刘弘;武新国;王凤国;冯宇;郭志轩;王海东 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 吴俣;姜春咸 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 | ||
本公开实施例提供了一种显示基板,其中,包括:衬底基板;有源层图形,位于所述衬底基板的一侧,具有用于导电的半导体区域;光阻图形,位于所述衬底基板和所述有源层图形之间,所述光阻图形在所述衬底基板上的正投影至少完全覆盖所述半导体区域,所述光阻图形包括至少一个侧面,所述侧面所在面与所述衬底基板所在平面之间具有倾斜角,所述侧面在所述衬底基板的正投影与所述有源层图形在所述衬底基板上的正投影存在交叠;介质层,位于所述有源层图形和所述光阻图形之间,配置为使得有源层朝向衬底基板的表面与衬底基板所在平面平行,所述光阻图形的最大厚度为d1,所述介质层的最大厚度为d2,d1和d2满足:d1<d2。
技术领域
本公开涉及显示技术领域,特别涉及一种显示基板和显示面板。
背景技术
低温多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon,简称LTPS)型薄膜晶体管 (ThinFilm Transistor,简称TFT)凭借其小型化、轻薄化、功耗低等优点,在显示技术领域得到广泛应用。在LTPS型TFT中,有源层图形是整个器件的核心层,多晶硅(又称为p-Si)薄膜的质量将直接决定最终显示产品的效果和质量。
在相关技术中,在对单晶硅(又称为a-Si)薄膜进行激光照射晶化,以制备p-Si薄膜的过程中,容易出现p-Si薄膜断裂(Crack)的问题,从而导致最终形成的TFT存在电学特性异常的问题。
实用新型内容
本公开旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种显示基板和显示面板。
第一方面,本公开实施例提供了一种显示基板,其中,包括:
衬底基板;
有源层图形,位于所述衬底基板的一侧,具有用于导电的半导体区域;
光阻图形,位于所述衬底基板和所述有源层图形之间,所述光阻图形在所述衬底基板上的正投影至少完全覆盖所述半导体区域,所述光阻图形包括至少一个侧面,所述侧面所在面与所述衬底基板所在平面之间具有倾斜角,所述侧面在所述衬底基板的正投影与所述有源层图形在所述衬底基板上的正投影存在交叠;
介质层,位于所述有源层图形和所述光阻图形之间,配置为使得有源层朝向衬底基板的表面与衬底基板所在平面平行;
所述光阻图形的最大厚度为d1,所述介质层的最大厚度为d2,d1和d2满足:d1<d2。
在一些实施例中,所述倾斜角的范围包括:50°~90°。
在一些实施例中,所述介质层的材料包括:有机树脂材料;
所述有机树脂材料的玻璃化转变温度大于250℃。
在一些实施例中,所述有机树脂材料包括:聚酰亚胺。
在一些实施例中,所述聚酰亚胺的固化量范围包括:10%~20%。
在一些实施例中,所述介质层在基板上为整面设置且呈透明。
在一些实施例中,所述介质层的热膨胀系数小于或等于20ppm/K。
在一些实施例中,所述光阻图形的最大厚度d1满足:
所述介质层的最大厚度d2满足:d2≤10um。
在一些实施例中,所述显示基板还包括:
缓冲层,位于所述介质层和所述有源层图形之间,所述缓冲层远离所述衬底基板的一侧表面与衬底基板所在平面平行。
在一些实施例中,所述显示基板还包括:
栅绝缘层,位于所述有源层图形远离所述衬底基板的一侧;
栅极,位于所述栅绝缘层远离所述衬底基板的一侧;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的