[实用新型]一种医疗用温度和化学传感器结构有效
| 申请号： | 202020613949.X | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN212489872U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;白羽 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | A61B5/01 | 分类号： | A61B5/01;G01K13/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 医疗 温度 化学 传感器 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种医疗用温度和化学传感器结构，其特征在于：所述的医疗用温度和化学传感器结构，包括温度传感器(1)和湿度传感器(5)；温度传感器(1)和湿度传感器(5)均包括由金属薄膜(2)，玻璃衬底(3)，钝化层(4)；
其中：在金属薄膜(2)和玻璃衬底(3)之间，带有一层金属粘附层(6)，温度传感器(1)外部带有金属薄膜(2)，湿度传感器(5)外面带有金属薄膜(2)，玻璃衬底(3)设置在温度传感器(1)和湿度传感器(5)下面，钝化层(4)设置在金属薄膜(2)侧面。
2.根据权利要求1所述的医疗用温度和化学传感器结构，其特征在于：所述的玻璃衬底(3)为玻璃晶圆，为金属薄膜(2)提供支撑。
3.根据权利要求1所述的医疗用温度和化学传感器结构，其特征在于：所述的钝化层(4)是对于湿度或水蒸气敏感的材料构成。
4.根据权利要求1所述的医疗用温度和化学传感器结构，其特征在于：所述的玻璃衬底(3)为1～10层结构。
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