[实用新型]一种靶材帮定控温装置有效
申请号: | 202020614865.8 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN211786811U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 李兵 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | G05D23/22 | 分类号: | G05D23/22;C23C14/34 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 靶材帮定控温 装置 | ||
1.一种靶材帮定控温装置,包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件,控制电路设置有三相电源输入端,其特征在于:发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件(4)以及与发热件(4)电连接的温控装置,三相电源输入端与温控装置电连接,温控装置包括有温控记录仪(1)、温控器(2)、温控表、调功器(3),温控表电连接于温控记录仪(1)的信号接收口,温控记录仪(1)电连接于温控器(2)的信号接收口,温控器(2)电连接于调功器(3)的信号接收口,调功器(3)于发热件(4)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种靶材帮定控温装置,其特征在于:所述主控柜上设置有电源钥匙开关、电源指示灯,三相电源输入端和电源钥匙开关串联以形成一供电支路,供电支路的输出端电连接所述温控记录仪(1),在电源钥匙开关闭合时,供电支路电性导通温控记录仪(1),温控记录仪(1)输出温度控制信号至所述温控器(2),温控器(2)接收控制信号后将控制信号传递至所述调功器(3),以实现调控调功器(3)所输出电压和/或电流大小,各调功器(3)分别与各所述发热件(4)电连接;电源钥匙开关和电源指示灯串联形成以电源指示电路,在电源钥匙开关闭合时,电源指示电路导通。
3.根据权利要求2所述的一种靶材帮定控温装置,其特征在于:所述温控记录仪(1)设置有操作界面和显示界面,温控记录仪(1)经由操作界面向所述温控器(2)的通讯接口输入调温信号,温控器(2)接收该调温信号调控后再将调温信号传输至所述调功器(3),调功器(3)根据该调温信号调控所输出电压和/或电流大小。
4.根据权利要求1所述的一种靶材帮定控温装置,其特征在于:所述温控表包括一K型热电偶,K型热电偶电与温控表电连接,并将监测温度实时反馈至温控表。
5.根据权利要求2所述的一种靶材帮定控温装置,其特征在于:所述供电支路的输出端并联有启停控制回路、停止指示支路、报警支路、继电器KA和继电器KM,启停控制回路设置有紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3,紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2为常闭开关;继电器线圈KM1、继电器线圈KA2、继电器线圈KA3、绿色指示灯并联后与紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3串联形成启停控制回路,在电源钥匙开关和启动运行按钮SB3导通时,启停控制回路电性导通;停止支路设置有停止指示灯,紧急停止按钮SB1、常闭开关KM1、停止指示灯串联形成停止指示支路,在电源钥匙开关SA和启动运行按钮SB3导通时,常闭开关KM1断开,停止指示支路不导通。
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