[实用新型]特种工件真空镀膜控制系统

权利要求书

1.一种特种工件真空镀膜控制系统，其特征在于，至少包括：

第二控制单元；

翻板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动翻板阀向上翻转，以打开进出片室，供工件送入；或者驱动翻板阀向下翻转，以在工件送入后关闭进出片室，隔断外部环境；

传送驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动传送机构运转，以使工件可被传送出入进出片室、工艺室、静放室、在第一工艺室来回往复式移动、以及在第二工艺室来回往复式移动；

第一泵组驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第一泵组启动，以使进出片室进入抽真空状态；

第一插板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第一插板阀的开启或关闭，以使进出片室与工艺室连通或隔断，供工件送入第一工艺室和/或第二工艺室；

第二泵组驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第二泵组启动，以使第一工艺室和第二工艺室进入抽真空镀膜状态；

离子源启动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源，开始离子源联动；

中频电源启动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源，开始中频联动；

第二插板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第二插板阀的开启或关闭，以使工艺室与静放室连通或隔断。

2.如权利要求1所述的特种工件真空镀膜控制系统，其特征在于，真空镀膜设备，至少包括依次串联设置的：

进出片室，用于在正向接收工件后，提供真空环境，以便工件进入工艺室；或者在反向接收工件后，提供非真空环境，以便工件输出；

工艺室，用于对经由进出片室正向输送而来的两工件同时进行往复式镀膜处理，包括依次串联的第一外观检测室、第一镀膜工艺室、第一离子源室、第二离子源室、第二镀膜工艺室、以及第二外观检测室；其中，第一外观检测室、第一镀膜工艺室、以及第一离子源室构成真空环境下的第一工艺室，供一工件在第一工艺室内来回进行往复式镀膜；而第二外观检测室、第二镀膜工艺室、以及第二离子源室构成真空环境下的第二工艺室，供另一工件在第二工艺室内来回进行往复式镀膜；

静放室，包括可提供真空环境的第一静放室和第二静放室，用于对经工艺室镀膜后正向输送而来的待静放的两工件分别放置于第一静放室和第二静放室内同时进行静放处理。

3.如权利要求2所述的特种工件真空镀膜控制系统，其特征在于，第一外观检测室和第二外观检测室分别设有观察窗、位于观察窗外的工业相机组件、以及设于各检测室内并位于观察窗下方的线性光源组件。

4.如权利要求3所述的特种工件真空镀膜控制系统，其特征在于，工业相机组件包括多个并排设置且可上下调节的线性摄像单元，至少包括前边缘摄像单元、后边缘摄像单元、以及位于前后边缘摄像单元之间的主体摄像单元组。

5.如权利要求4所述的特种工件真空镀膜控制系统，其特征在于，

在正镀膜时，工件主体部分向上凸起，前后边缘摄像单元向下移动调节，使前后边缘摄像单元至工件边缘部分的取景距离与主体摄像单元组至工件主体部分正面的取景距离相等；

在反镀膜时，工件主体部分向下凹，前后边缘摄像单元向上移动调节，使前后边缘摄像单元至工件边缘部分的取景距离与主体摄像单元组至工件主体部分背面的取景距离相等。