[实用新型]一种载片器和镀膜系统

权利要求书

1.一种载片器，其特征在于，包括沿着预设方向间隔设置的多个电极片，多个所述电极片并联在一起；

多个所述电极片的尺寸参数沿着所述预设方向按照预设规律分布；

沿所述预设方向，多个所述电极片的导电率先逐渐增加再逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的载片器，其特征在于，每个所述电极片的尺寸参数为电极片的厚度。

3.根据权利要求2所述的载片器，其特征在于，所述预设规律为多个所述电极片的厚度先逐渐增加再逐渐减小。

4.根据权利要求3所述的载片器，其特征在于，相邻两个所述电极片的厚度差为0.04mm-0.06mm。

5.根据权利要求1～4任一项所述的载片器，其特征在于，多个所述电极片中厚度最大的电极片为2.5mm-2.9mm。

6.根据权利要求1所述的载片器，其特征在于，每个所述电极片的尺寸参数为所述电极片的长度。

7.根据权利要求6所述的载片器，其特征在于，所述预设规律为多个所述电极片的长度先逐渐减小再逐渐增大。

8.根据权利要求1所述的载片器，其特征在于，相邻两个所述电极片之间具有间隙，各个所述间隙的宽度沿着所述预设方向先逐渐减小再逐渐增大。

9.根据权利要求1所述的载片器，其特征在于，各个所述电极片所含有的材质导电率不同。

10.一种镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统包括权利要求1-9任一所述的载片器。