[实用新型]一种高光学稳定性的超窄带滤光片

权利要求书

1.一种高光学稳定性的超窄带滤光片，包括基底以及设置在所述基底上的超窄带滤光膜，其特征在于，所述的超窄带滤光膜的膜系结构为修正的三腔结构：S|(HL)⁴H2LH(LH)⁴L(HL)⁴H4LH(LH)⁴L(HL)⁴H2LH(LH)⁴L’|A，其中，S表示滤光片基底，A表示入射媒质空气，H表示四分之一中心波长厚度的高折射率膜，L表示四分之一中心波长厚度的低折射率膜，L’为减反射膜。

2.根据权利要求1所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的高折射率膜为二氧化钛膜，所述的低折射率膜为二氧化硅膜，所述的减反射膜为氟化镁。

3.根据权利要求2所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的二氧化钛膜的热线膨胀系数为2.5×10^-6/度，所述的二氧化硅膜的热线膨胀系数为0.7×10^-6/度，所述的减反射膜氟化镁的热线膨胀系数为18×10^-6/度。

4.根据权利要求2所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的二氧化钛膜的折射率温度系数约为-0.57×10^-6/度，所述的二氧化硅膜的折射率温度系数为1×10^-5/度，所述的减反射膜氟化镁的折射率温度系数为2.3×10^-5/度。

5.根据权利要求1所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的超窄带滤光膜的膜系中心波长λ₀＝530nm。

6.根据权利要求2所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的二氧化钛膜在波长530nm的折射率为2.44，所述的二氧化硅膜在波长530nm的折射率为1.46，所述的减反射膜在波长530nm的折射率为1.38。

7.根据权利要求1所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的超窄带滤光膜的总膜层数为60层，所述的超窄带滤光膜的总膜厚为4771nm。

8.根据权利要求1所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的基底为光学塑料。

9.根据权利要求1所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的基底为氟化乙烯丙烯共聚物光学塑料，其在波长530nm的折射率为1.34。

10.根据权利要求9所述的高光学稳定性的超窄带滤光片，其特征在于，所述的氟化乙烯丙烯共聚物光学塑料，其热线膨胀系数为140×10^-6/度。