[实用新型]一种改良吸力的芯片固定结构有效
| 申请号： | 202020618477.7 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN211629058U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;周鑫鑫;赵丽;贾淑芳 | 申请（专利权）人： | 氩芯科技（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市杭州经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改良 吸力 芯片 固定 结构 | ||
1.一种改良吸力的芯片固定结构，包括芯片加工设备本体(1)，其特征在于：所述芯片加工设备本体(1)的底部固定连接有底座(2)，所述底座(2)的顶部固定连接有操作台(3)，所述操作台(3)的顶部开设有两条凹槽(4)，所述凹槽(4)的内腔活动连接有活动壳(5)，所述活动壳(5)的顶部固定连接有定位板(6)，所述定位板(6)的顶部贯穿有移动杆(7)，所述移动杆(7)的底部固定连接有限位杆(8)，所述限位杆(8)的底部设置有支撑机构(9)，所述移动杆(7)的左侧固定连接有弹簧(10)，所述弹簧(10)靠近定位板(6)内壁的一侧与定位板(6)内壁固定连接，所述凹槽(4)的内壁开设有与限位杆(8)配合使用的限位槽(11)。
2.如权利要求1所述的一种改良吸力的芯片固定结构，其特征在于：所述支撑机构(9)包括滑槽(901)，所述滑槽(901)开设于活动壳(5)内壁的底部，所述滑槽(901)的内腔活动连接有滑块(902)，所述滑块(902)的顶部固定连接有支撑杆(903)，所述支撑杆(903)的顶部与限位杆(8)的底部固定连接。
3.如权利要求1所述的一种改良吸力的芯片固定结构，其特征在于：所述活动壳(5)的内壁固定连接有定位杆(12)，所述限位杆(8)靠近定位杆(12)的一侧开设有与定位杆(12)配合使用的定位槽(13)。
4.如权利要求1所述的一种改良吸力的芯片固定结构，其特征在于：所述定位板(6)的顶部和底部均开设有与移动杆(7)配合使用的移动槽(14)，所述移动杆(7)的顶部固定连接有卡块(15)。
5.如权利要求1所述的一种改良吸力的芯片固定结构，其特征在于：所述活动壳(5)的顶部开设有与移动杆(7)配合使用的第一通孔(16)，所述活动壳(5)靠近限位杆(8)的一侧开设有与限位杆(8)配合使用的第二通孔(17)。
6.如权利要求1所述的一种改良吸力的芯片固定结构，其特征在于：所述限位槽(11)的数量为多个，且均匀分布至凹槽(4)的内壁。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
