[实用新型]一种用于双面显影的工装有效
申请号: | 202020618951.6 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN211628006U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 智云涛;表军;韩建栋 | 申请(专利权)人: | 石家庄海科电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 | 代理人: | 汪斌 |
地址: | 050000 河北省石家庄市鹿*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 双面 显影 工装 | ||
本实用新型涉及一种用于双面显影的工装,包括底板,所述底板为长方体结构,其中,所述底板的四个顶角均设置支撑板,所述支撑板为阶梯状结构,所述支撑板包括支撑台和限位台,所述支撑台位于下层,所述限位台位于上层。本实用新型提供的一种用于双面显影的工装通过设置在底板四个顶点的支撑板对需要处理的基片进行支撑,使得中部需要进行显影的部位处于悬空状态,平放在烧杯或平盘内,只用较少的显影液,就可以实现比较理想的双面显影,且不会因为片子晃动而造成背面划伤。
技术领域
本实用新型属于基片加工技术领域,具体涉及一种用于双面显影的工装。
背景技术
双面金锡的氮化铝热沉,需要双面涂胶,双面曝光,同时显影;双面电镀。常规的显影方法是将片子侧立于烧杯中晃动烧杯显影,烧杯中需要倒入大量显影液,液面需要浸没基片,或将片子平放通过滚轴移送基片,传送过程中上下喷洒显影液显影,但设备比较贵,且浪费显影液,综合成本较高。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型提供了一种用于双面显影的工装,包括底板,所述底板为长方体结构,其中,所述底板的四个顶角均设置支撑板,所述支撑板为阶梯状结构,所述支撑板包括支撑台和限位台,所述支撑台位于下层,所述限位台位于上层,所述支撑板可以对需要进行显影处理的基片的四个顶角进行支撑。
优选的是,所述支撑台为支撑板的横截面为长方形。
在上述任一方案中优选的是,所述支撑台的横截面为长方形。
在上述任一方案中优选的是,所述限位台的横截面为L形。
在上述任一方案中优选的是,所述底板和支撑板均由聚四氟乙烯材质制成,由于聚四氟乙烯材质的质地较软,因此聚四氟乙烯材质的底板和支撑板不易对基片造成损坏。
本实用新型的有益效果为:本实用新型提供的一种用于双面显影的工装通过设置在底板四个顶点的支撑板对需要处理的基片进行支撑,使得中部需要进行显影的部位处于悬空状态,平放在烧杯或平盘内,只用较少的显影液,就可以实现比较理想的双面显影,且不会因为片子晃动而造成背面划伤。
附图说明
图1为按照本实用新型的一种用于双面显影的工装的一优选实施例俯视图;
图2为按照本实用新型的一种用于双面显影的工装的图1实施例主视图;
图3为按照本实用新型的一种用于双面显影的工装的图1实施例使用图。
图中标注说明:1-底板;2-支撑板;3-限位台;4-支撑台;5-基片。
具体实施方式
为了更进一步了解本实用新型的实用新型内容,下面将结合具体实施例详细阐述本实用新型。
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