[实用新型]一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟有效
申请号: | 202020619717.5 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN213925009U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣新能源材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50 |
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地址: | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 兼容 不同 规格 尺寸 硅片 石墨 | ||
本实用新型公开了一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟,要解决的是现有石墨舟在承载太阳能硅片时存在的问题。本产品包括舟片本体,所述舟片本体上的不同位置加工有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸。本产品设计合理,在舟片本体上设置有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸,只需要调整卡点装配的位置就能实现各种太阳能硅片的相互切换,从而大大降低了改造成本;孔位上安装有堵头,需要生产某种规格的太阳能硅片时,用堵头将其他的孔位堵上,可以保证太阳能硅片在舟片本体内固定的位置和角度。
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片承载领域,具体是一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟。
背景技术
随着科技的进步,目前市面上推出了多晶M3、M4、M6以及更大尺寸的太阳能硅片新产品,比此前推出的M2多晶硅硅片的能量转换效率有了较大幅度的提升。
太阳能硅片在使用时需要进行PECVD镀膜工艺,石墨舟是太阳能硅片进行PECVD镀膜工艺的载体,现有的石墨舟只能匹配一种M2及更小尺寸的硅片,如果放入较大尺寸的太阳能硅片就会出现反向倾斜,不居中等现象,而换一种需要采购较大的设备和石墨舟来生产大尺寸的太阳能硅片,成本太高。
发明内容
本实用新型实施例的目的在于提供一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型实施例提供如下技术方案:
一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟,包括舟片本体,所述舟片本体上的不同位置加工有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸,当人们面对不同尺寸的太阳能硅片的加工时,只需调整与孔位配合使用的卡点之间的位置和框间距,即可实现匹配,无需调整现有的设备,只需要调整卡点装配的位置就能实现各种太阳能硅片的相互切换,从而大大降低了改造成本。
作为本实用新型实施例进一步的方案:舟片本体采用石墨材质制作,市场易购得,便于加工,使用效果好。
作为本实用新型实施例进一步的方案:孔位上活动安装有堵头,需要生产某种规格的太阳能硅片时,用堵头将其他的孔位堵上,可以保证太阳能硅片在舟片本体内固定的位置和角度,保证使用效果。
作为本实用新型实施例进一步的方案:堵头采用石墨材料制作,使用效果好。
作为本实用新型实施例进一步的方案:孔位之间的间距为158-175mm,适用于不同规格的太阳能硅片。
与现有技术相比,本实用新型实施例的有益效果是:
本产品设计合理,在舟片本体上设置有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸,只需要调整卡点装配的位置就能实现各种太阳能硅片的相互切换,从而大大降低了改造成本;
孔位上安装有堵头,需要生产某种规格的太阳能硅片时,用堵头将其他的孔位堵上,可以保证太阳能硅片在舟片本体内固定的位置和角度,使用前景广阔。
附图说明
图1为能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟的结构示意图。
其中:1-舟片本体,2-孔位。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
实施例1
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的