[实用新型]应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构有效
申请号: | 202020620576.9 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN213538092U | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 吴仕锋;徐从高 | 申请(专利权)人: | 广东生波尔光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人: | 石仁 |
地址: | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 自动化 镀膜 线上 多工位 升降 平移 机构 | ||
1.应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,包括机架平台(1)、设于机架平台(1)上的行走平台(2)、设于行走平台(2)上的升降架(4)以及设于所述升降架(4)上可用于暂存或运输基片架的多工位传动平台(3),所述多工位传动平台(3)上有多个可容置基片架的暂存区(301),且暂存区(301)上设有可运输基片架的运输组件;
所述行走平台(2)可带动所述多工位传动平台(3)在机架平台(1)上行走以使多工位传动平台(3)与自动化镀膜线上的不同工位对接。
2.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述多工位传动平台(3)上至少设有两个所述的暂存区(301),且两个所述的暂存区(301)为上下层分布,所述升降架(4)可带动多工位传动平台(3)升降以切换不同的暂存区(301)与自动化镀膜线上的工位对接。
3.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述的多工位传动平台(3)为四工位传动平台,其上设有四个所述的暂存区(301),且四个所述的暂存区(301)分为上下两层,每层上分布两个并排设置的暂存区(301)。
4.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,每个所述的暂存区(301)上设有防止基片架摔落的限位组件(5)。
5.根据权利要求4所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述限位组件(5)包括位于暂存区(301)两侧且设于运输组件运输方向上的限位气缸,且限位气缸收缩后可让位基片架从外侧进入至暂存区(301)内或从暂存区(301)内运输至外侧。
6.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述多工位传动平台(3)包括多个框架(31),每个框架(31)上均设有所述的运输组件,且每个框架(31)上方的空间形成所述的暂存区(301)。
7.根据权利要求6所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述运输组件包括多条间隔平行设置在框架(31)上的传动辊(52)以及驱动多条传动辊(52)同步转动的伺服电机(51)。
8.根据权利要求6所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述框架(31)上还设有到位检测装置。
9.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述机架平台(1)上设有导轨(11),所述行走平台(2)包括车架(21)、设于车架(21)下侧与导轨(11)配合的滑座(22),所述机架平台(1)还设有用于驱动所述车架(21)移动的驱动组件以及用于检测车架(21)移动至端部的接近传感器(12)。
10.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述升降架(4)包括设于行走平台(2)上的底架(41),设于底架(41)上的升降组件以及下端与升降组件连接、上端与行走平台(2)连接的托板(42),所述升降组件包括同步器(43)以及驱动同步器(43)运动的驱动电机(44)。
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