[实用新型]应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构有效

专利信息
申请号: 202020620576.9 申请日: 2020-04-22
公开(公告)号: CN213538092U 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 吴仕锋;徐从高 申请(专利权)人: 广东生波尔光电技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 代理人: 石仁
地址: 528400 广东省中山市板芙*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 应用于 自动化 镀膜 线上 多工位 升降 平移 机构
【权利要求书】:

1.应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,包括机架平台(1)、设于机架平台(1)上的行走平台(2)、设于行走平台(2)上的升降架(4)以及设于所述升降架(4)上可用于暂存或运输基片架的多工位传动平台(3),所述多工位传动平台(3)上有多个可容置基片架的暂存区(301),且暂存区(301)上设有可运输基片架的运输组件;

所述行走平台(2)可带动所述多工位传动平台(3)在机架平台(1)上行走以使多工位传动平台(3)与自动化镀膜线上的不同工位对接。

2.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述多工位传动平台(3)上至少设有两个所述的暂存区(301),且两个所述的暂存区(301)为上下层分布,所述升降架(4)可带动多工位传动平台(3)升降以切换不同的暂存区(301)与自动化镀膜线上的工位对接。

3.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述的多工位传动平台(3)为四工位传动平台,其上设有四个所述的暂存区(301),且四个所述的暂存区(301)分为上下两层,每层上分布两个并排设置的暂存区(301)。

4.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,每个所述的暂存区(301)上设有防止基片架摔落的限位组件(5)。

5.根据权利要求4所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述限位组件(5)包括位于暂存区(301)两侧且设于运输组件运输方向上的限位气缸,且限位气缸收缩后可让位基片架从外侧进入至暂存区(301)内或从暂存区(301)内运输至外侧。

6.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述多工位传动平台(3)包括多个框架(31),每个框架(31)上均设有所述的运输组件,且每个框架(31)上方的空间形成所述的暂存区(301)。

7.根据权利要求6所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述运输组件包括多条间隔平行设置在框架(31)上的传动辊(52)以及驱动多条传动辊(52)同步转动的伺服电机(51)。

8.根据权利要求6所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述框架(31)上还设有到位检测装置。

9.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述机架平台(1)上设有导轨(11),所述行走平台(2)包括车架(21)、设于车架(21)下侧与导轨(11)配合的滑座(22),所述机架平台(1)还设有用于驱动所述车架(21)移动的驱动组件以及用于检测车架(21)移动至端部的接近传感器(12)。

10.根据权利要求1所述的应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构,其特征在于,所述升降架(4)包括设于行走平台(2)上的底架(41),设于底架(41)上的升降组件以及下端与升降组件连接、上端与行走平台(2)连接的托板(42),所述升降组件包括同步器(43)以及驱动同步器(43)运动的驱动电机(44)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东生波尔光电技术有限公司,未经广东生波尔光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020620576.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top