[实用新型]海绵清洁前处理装置

权利要求书

1.一种海绵清洁前处理装置，其特征在于，该装置包括：

晶圆夹持机构，用以固定晶圆；

晶圆驱动机构，与该晶圆夹持机构连接设置，用以承载并转动该晶圆夹持机构；

海绵清洁机构，配置于该晶圆表面的上方，包括海绵刷及与该海绵刷连接以驱动海绵刷转动的驱动马达，当该晶圆夹持机构受该晶圆驱动机构的驱动而旋转时，通过该驱动马达转动该海绵刷使该海绵刷与该晶圆之间产生相对运动而清洁该晶圆；

喷洒机构，于该晶圆的表面配置，用以供应清洗液于该晶圆的表面，以辅助该海绵刷洗净该晶圆；

加压调节机构，与该海绵清洁机构连接设置，可将该海绵刷以加压状态接触该晶圆表面；以及

控制机构，分别连接该晶圆夹持机构、该晶圆驱动机构、该海绵清洁机构、该喷洒机构与该加压调节机构，用以调整数个环境参数以取得活化的海绵刷，其中各该环境参数包含设定该晶圆驱动机构的转速并控制为30～150 rpm，设定该喷洒机构的清洗液以0.5～3.5LPM的流量喷洒在该晶圆上，设定该海绵清洁机构的转动方向与转速并控制为100～500rpm，设定该海绵清洁机构与该晶圆夹持机构的距离并控制该海绵刷与该晶圆之间的间距为-0.4～-2.0毫米，及设定该加压调节机构的加压状态并控制该海绵刷与该晶圆之间的下压力为1～10牛顿。

2.如权利要求1所述的海绵清洁前处理装置，其特征在于，所述控制机构控制该海绵清洁机构的转动方向为顺时针或逆时针。