[实用新型]一种用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，包括：混气罐，设置于所述混气罐内部的搅动组件；

所述混气罐的一端面设置有进气孔，另一端面与化学气相沉积CVD炉体连通；

所述搅动组件包括轴体和沿所述轴体的周向均匀设置的至少三个叶片，所述轴体的两端一一对应的固设于所述混气罐的两端，且所述叶片与所述轴体的垂直面具有预设夹角；

所述搅动组件，被配置为所述叶片在气流的作用下，所述叶片沿所述轴体进行轴向旋转。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述搅动组件包括四个叶片。

3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述叶片与所述轴体的垂直面的夹角在30度到60度之间。

4.根据权利要求2所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述叶片为梯形叶片，所述梯形叶片设置于穿过所述轴体的圆环上，所述圆环的直径为所述混气罐直径的五分之一。

5.根据权利要求4所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述梯形叶片的短边与所述圆环相连接，且所述四个叶片的短边相加等于所述圆环的周长，所述梯形叶片的长边为所述短边的两倍。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述叶片的材料采用塑料、树脂或PVC。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述轴体设置于所述混气罐的中心轴位置。

8.根据权利要求1～5中任一项所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述混气罐的两个端面分别设置有直径与所述轴体直径相同的凹槽，两个所述凹槽用于一一对应的插入所述轴体的两端。

9.根据权利要求1～5中任一项所述的用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，其特征在于，所述搅动组件的直径为所述混气罐直径的二分之一到三分之二。