[实用新型]一种单晶硅方棒外圆磨削装置

权利要求书

1.一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，包括工作台，在所述工作台上设有用于卡固硅方棒的顶固组件和用于磨削所述硅方棒外圆的磨削组件，所述磨削组件可沿所述硅方棒宽度方向移动并与所述硅方棒对角棱线接触；所述顶固组件带动所述硅方棒在所述工作台上沿所述硅方棒长度方向往复移动，同时所述顶固组件带动所述硅方棒以所述硅方棒与所述磨削组件接触的连接线为轴线做往复转动。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，所述顶固组件包括顶件、与所述顶件连接的支件和与所述支件滑动配合的轨道，所述轨道沿所述硅方棒长度方向设置。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，所述顶件包括夹头，所述夹头一端与所述支件连接，另一端与所述硅方棒端面连接，所述夹头直径小于所述硅方棒端面内切圆直径。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，所述夹头靠近所述硅方棒端面一侧设有橡胶垫，所述橡胶垫与所述夹头相适配。

5.根据权利要求3或4所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，所述支件包括头座和尾座，所述头座一端与所述夹头连接，另一端与所述尾座一体连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，对位设置的所述尾座通过设置在所述轨道内的丝杠连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，在所述轨道上方还设有保护罩，所述保护罩分别与所述尾座连接。

8.根据权利要求1-4、6-7任一项所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，所述磨削组件包括对称设置在所述工作台上的立柱和与所述立柱连接的连件，所述连件沿所述硅方棒宽度方向可伸缩设置。

9.根据权利要求8所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，所述磨削组件还包括砂轮，所述砂轮置于所述连件远离所述立柱一侧设置。

10.根据权利要求9所述的一种单晶硅方棒外圆磨削装置，其特征在于，所述砂轮平面与所述硅方棒轴线并行设置。