[实用新型]激光打标装备集尘吸力监测系统

说明书

本实用新型公开了激光打标装备集尘吸力监测系统，包括集尘箱和监控仪，所述集尘箱设有第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱，所述第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱内部分别连接真空感应器，所述监控仪为压力监控仪，所述监控仪包括第一监控仪，第二监控仪，第三监控仪，第四监控仪，所述第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱内部的真空感应器分别连接第一监控仪，第二监控仪，第三监控仪，第四监控仪，所述监控仪连接控制系统，此监测系统可根据集尘箱的压力单位变更测量范围，测量精确度高，实时监控记录压力范围，监控仪界面操作方便，便于管理，仪器对于超范围指标报警装置会报警。

技术领域

本实用新型属于半导体激光打标领域，尤其涉及激光打标装备集尘吸力监测系统。

背景技术

在对半导体内存激光打标时，现有集尘管道流量监测和流量阈值波动警报系统设备上面没有对应的监测系统，无法判断集尘部分工作能力，只能在品质异常后人工仪器检测才能得知集尘能力异常。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供激光打标装备集尘吸力监测系统。

本实用新型的的目的可以通过以下技术方案来实现：

激光打标装备集尘吸力监测系统，包括集尘箱和监控仪，所述集尘箱设有第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱，所述第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱内部分别连接真空感应器，所述监控仪为压力监控仪，所述监控仪包括第一监控仪，第二监控仪，第三监控仪，第四监控仪，所述第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱内部的真空感应器分别连接第一监控仪，第二监控仪，第三监控仪，第四监控仪，所述监控仪连接控制系统。

优选的，所述监控仪通过电线连接控制系统。

优选的，所述集尘箱设有管口，所述集尘箱通过管口管道连接真空感应器，所述管口的直径为10cm。

优选的，所述监控仪连接报警装置，所述报警装置连接控制系统。

优选的，所述监控仪设有显示屏。

本实用新型的有益效果：

此监测系统可根据集尘箱的压力单位变更测量范围，测量精确度高，实时监控记录压力范围，监控仪界面操作方便，便于管理，仪器对于超范围指标报警装置会报警。

附图说明

图1为激光打标装备集尘吸力监测系统的结构示意图。

具体实施方式

结合附图所示，本实用新型的技术方案作进一步的描述：

激光打标装备集尘吸力监测系统，包括集尘箱和监控仪，所述集尘箱设有第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱，所述第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱内部分别连接真空感应器，所述监控仪为压力监控仪，所述监控仪包括第一监控仪，第二监控仪，第三监控仪，第四监控仪，所述第一集尘箱，第二集尘箱，第三集尘箱，第四集尘箱内部的真空感应器分别连接第一监控仪，第二监控仪，第三监控仪，第四监控仪，所述监控仪连接控制系统。

本实施例中，优选的，所述监控仪通过电线连接控制系统。

本实施例中，优选的，所述集尘箱设有管口，所述集尘箱通过管口管道连接真空感应器，所述管口的直径为10cm。

本实施例中，优选的，所述监控仪连接报警装置，所述报警装置连接控制系统。

本实施例中，优选的，所述监控仪设有显示屏。

最后应说明的是：