[实用新型]一种电磁式微镜结构

权利要求书

1.一种电磁式微镜结构，其特征在于：所述的电磁式微镜结构，包括无磁性基底晶圆(1)，盖板晶圆(2)，悬臂梁结构(3)，铁磁性镜面(4)，晶圆键合界面层(5)，吸气薄膜(6)，空腔(7)，电磁铁(8)，金属片(9)；

其中：无磁性基底晶圆(1)与盖板晶圆(2)之间带有晶圆键合界面层(5)，悬臂梁结构(3)与无磁性基底晶圆(1)连接，铁磁性镜面(4)设置在悬臂梁结构(3)上，吸气薄膜(6)设置在盖板晶圆(2)内，盖板晶圆(2)内为空腔(7)，电磁铁(8)和金属片(9)设置在盖板晶圆(2)外部。

2.按照权利要求1所述的电磁式微镜结构，其特征在于：所述的无磁性基底晶圆(1)为硬质材料件，能为微镜结构提供支撑。

3.按照权利要求1所述的电磁式微镜结构，其特征在于：所述的盖板晶圆(2)为玻璃片组件，能通过光信号。

4.按照权利要求1所述的电磁式微镜结构，其特征在于：所述的悬臂梁结构(3)为弹性件。

5.按照权利要求1所述的电磁式微镜结构，其特征在于：所述的晶圆键合界面层(5)是盖板晶圆(2)和无磁性基底晶圆(1)键合在一起的界面，能是直接接触或之间带有隔层。