[实用新型]一种真空涂层设备用弧电源的切换装置有效
| 申请号： | 202020632617.6 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN212505040U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 卢国英;石昌仑;兰睿 | 申请（专利权）人： | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区常武中路18号常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 涂层 备用 电源 切换 装置 | ||
1.一种真空涂层设备用弧电源的切换装置，其特征在于：包括真空涂层设备(1)、三行蒸发源组、控制装置(3)、若干台弧电源(4)、接触器(5)和继电器(6)；
所述真空涂层设备(1)中设有真空室(111)，三行所述蒸发源(2)固定设于真空室(111)内，每行所述蒸发源组分别包含4台蒸发源(2),共形成四列蒸发源组,所述弧电源(4)的正极与真空室(111)电性连接，两列所述蒸发源组中的每一行蒸发源组分别电性连接有一台弧电源(4)的负极,剩余两列蒸发源组中的每台蒸发源(2)分别电性连接有与之一一对应的弧电源(4)的负极，形成并联支路，所述弧电源(4)、蒸发源(2)与真空室(111)形成回路，每个所述弧电源(4)与其所对应的蒸发源(2)的并联支路上均设有接触器(5)，若干所述接触器(5)的信号输入端分别电性连接有继电器(6)，若干所述继电器(6)的信号输入端均电性连接至控制装置(3)的信号输出端。
2.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备用弧电源的切换装置，其特征在于：每列所述蒸发源(2)中的每台蒸发源(2)均同时开启。
3.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备用弧电源的切换装置，其特征在于：所述接触器(5)为永磁接触器。
4.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备用弧电源的切换装置，其特征在于：所述继电器(6)为电磁继电器。
5.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备用弧电源的切换装置，其特征在于：所述控制装置(3)为PLC控制装置。
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