[实用新型]一种电阻加热化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)为顶面开口式结构，所述炉体(1)的顶面紧密焊接有螺纹环(11)，所述炉体(1)内设有进气管(13)，所述进气管(13)的顶端穿过所述炉体(1)的外壁并延伸至外界；所述炉体(1)的下方设有废气排出机构(3)，所述废气排出机构(3)包括与所述炉体(1)的底面通过螺栓固定连接的风机(31)，所述风机(31)的底端通过螺栓固定连接有连接管(32)，所述连接管(32)的底端通过螺栓固定连接有呈中空式结构的箱体(33)，所述箱体(33)的圆周外壁上紧密焊接有多个呈环形等间距分布的弯管(35)，所述弯管(35)上设有球阀(36)，所述弯管(35)远离所述箱体(33)的一端通过法兰固定连接有过滤管(37)，所述过滤管(37)为中空式结构，所述过滤管(37)内嵌设有两个相互平行的挡网(371)，两个所述挡网(371)之间设有过滤体(372)，所述过滤管(37)的顶端同轴紧密焊接有排气管(373)，所述炉体(1)、所述风机(31)、所述连接管(32)、所述箱体(33)、所述弯管(35)、所述过滤管(37)和所述排气管(373)依次首尾相连通。

2.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体(1)的内壁从上至下设有多个呈线性等间距分布的电阻加热组件(12)，所述电阻加热组件(12)包括呈环状且与所述炉体(1)的内壁紧密焊接的发热体(121)，两个所述发热体(121)的两端之间嵌设有石墨接头(122)。

3.根据权利要求2所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述石墨接头(122)通过导线与电源电性连接。

4.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体(1)的上方设有盖体(2)，所述盖体(2)与所述螺纹环(11)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述过滤体(372)为活性炭颗粒。

6.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述箱体(33)的顶面紧密焊接有多个呈环形等间距分布的连杆(34)，所述连杆(34)的顶端与所述炉体(1)的底面紧密焊接。