[实用新型]一种紧凑型扫描镜

说明书

本实用新型公开了一种紧凑型扫描镜，涉及微机电系统领域，包括镜面、可动边框、驱动结构、反馈结构和组合永磁体，镜面位于扫描镜的中心位置，镜面通过对称的两个转轴连接可动边框的内侧；镜面与可动边框之间的间隙内设置有锚点，锚点用于固定镜面和组合永磁体，锚点与可动边框之间通过连接梁连接在一起，连接梁的位置靠近转轴，两个组合永磁体以转轴连接线为对称轴对称设置在锚点的背面；驱动结构用于驱动镜面和可动边框以转轴为轴线偏转，反馈结构用于实时反映镜面偏转状态。通过合理设置锚点和组合永磁体的位置，使扫描镜整体结构紧凑，因此扫描镜体积大幅减小，采用组合永磁体使磁场强度增大，提高了镜面的最大偏转角度。

技术领域

本实用新型涉及微机电系统领域，尤其是一种紧凑型扫描镜。

背景技术

扫描镜驱动方式包括静电、电磁、电热、压电等，其中电磁驱动方式依靠通电线圈在恒定磁场中受洛伦兹力作用从而产生位移，与其他驱动方式相比具有驱动力矩大、位移大的优点，尤其适合驱动大尺寸镜面。

在现有技术中，电磁驱动大尺寸扫描镜的结构如图1所示，其A-A截面图如图2所示。该扫描镜采用单一磁铁驱动，驱动能力有限，其扫描角度较小，而且固定锚点12和固定永磁体13位于整体结构最外侧，导致装配结构整体体积较大。图3示出了另一种传统大尺寸扫描镜的截面图，虽然采用两组磁铁驱动，固定永磁体14采用图3的装配方式可增大磁场强度，但相对的上下永磁体的极性相同，排斥力巨大，装配非常困难。

实用新型内容

本发明人针对上述问题及技术需求，提出了一种紧凑型扫描镜。本申请通过优化设置永磁体组合方式，使其兼顾驱动和固定锚点的作用，提高了驱动力，增大扫描角度，并且扫描镜整体结构紧凑，因此体积大幅减小，通过组合永磁体互相之间自吸引，减小了装配难度。

本实用新型的技术方案如下：

一种紧凑型扫描镜，包括镜面、可动边框、驱动结构和组合永磁体，镜面位于扫描镜的中心位置，镜面通过对称的两个转轴连接可动边框的内侧；镜面与可动边框之间的间隙内设置有锚点，锚点用于固定镜面和组合永磁体，锚点与可动边框之间通过连接梁连接在一起，连接梁的位置靠近转轴，两个组合永磁体以转轴连接线为对称轴对称设置在锚点的背面；驱动结构用于驱动镜面和可动边框以转轴为轴线偏转。

其进一步的技术方案为，组合永磁体包括呈长方体结构的第一永磁体和与锚点形状相同的第二永磁体，第二永磁体固定在锚点的背面，第一永磁体吸附在第二永磁体上，第一永磁体位于可动边框背面的下方，两个第一永磁体的极性沿水平方向分布且相对侧的磁性相吸，两个第二永磁体的极性沿竖直方向分布且极性反向设置。

其进一步的技术方案为，紧凑型扫描镜还包括反馈结构，反馈结构包括反馈线圈和反馈电极，反馈电极设置在锚点上，反馈线圈设置在镜面的边缘上，反馈线圈的两端分别连接反馈电极。

其进一步的技术方案为，驱动结构包括驱动线圈和驱动电极，驱动电极设置在锚点上，驱动线圈设置在可动边框上，驱动线圈的两端分别连接驱动电极。

其进一步的技术方案为，连接梁的形状为L型，L型的一边平行于转轴，端点连接在可动边框的内侧，另一边的端点连接在锚点上。

其进一步的技术方案为，镜面的形状为圆形、椭圆形或方形；可动边框的形状为方形、圆形或椭圆形。

其进一步的技术方案为，当镜面的形状为圆形时，镜面的直径大于等于3mm，镜面为大尺寸镜面。

本实用新型的有益技术效果是：