[实用新型]一种适用于微构件表面的减摩织构有效
| 申请号： | 202020650106.7 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN212222413U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈龙;陈文刚;夏敏华;谢永;刘德春;宋文涛 | 申请（专利权）人： | 西南林业大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650224 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 构件 表面 减摩织构 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于微构件表面的减摩织构，所述适用于微构件表面的减摩织构凹坑(2)呈圆环或蜂窝网络状，其特征在于：所述凹坑(2)按照一定排列规律均匀分布在单晶硅(3)表面上，且各凹坑通过连通槽(1)相互接通。
2.根据权利要求1所述的一种适用于微构件表面的减摩织构，其特征在于，所述圆环或蜂窝网络状织构凹坑(2)的宽度为100纳米-800纳米,深度为100-200纳米。
3.根据权利要求2所述的一种适用于微构件表面的减摩织构，其特征在于，在单晶硅(3)表面相邻的两个凹坑(2)的间距在200纳米-800纳米的范围内。
4.根据权利要求1所述的一种适用于微构件表面的减摩织构，其特征在于，所述连通槽(1)的宽度为100-200纳米，深度为100-200纳米。
5.根据权利要求4所述的一种适用于微构件表面的减摩织构，其特征在于，呈圆环网络状的凹坑(2)的4条连通槽(1)，两两之间夹角为90度。
6.根据权利要求4所述的一种适用于微构件表面的减摩织构，其特征在于，呈蜂窝网络状的凹坑(2)的6条连通槽(1)，两两之间夹角为60度。
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