[实用新型]一种铜丝加工用高效节能退火炉有效
申请号: | 202020652660.9 | 申请日: | 2020-04-26 |
公开(公告)号: | CN211947167U | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 陈骏 | 申请(专利权)人: | 上饶市中帆金属有限公司 |
主分类号: | C21D9/54 | 分类号: | C21D9/54;C21D1/26;C22F1/08 |
代理公司: | 南昌大牛知识产权代理事务所(普通合伙) 36135 | 代理人: | 段维 |
地址: | 334500 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜丝 工用 高效 节能 退火炉 | ||
本实用新型涉及退火炉技术领域,具体是一种铜丝加工用高效节能退火炉,所述壳体的内部设置有电机,所述电机的端部固定有第一齿轮,所述第一齿轮的一侧转动连接有第二齿轮,所述第二齿轮的下方固定有第一转动杆,所述第一转动杆的一端转动连接有第二转动杆,所述第二转动杆的一端转动连接有三角片,所述三角片与炉门之间通过连接片固定连接。本实用新型设计巧妙,自动开门器的设计能够避免炉体温度过高,工作人员手动开关炉门可能存在的危险;另外,高度调节托盘盘面的高度可通过两个丝杆进行调节,同时,盘面做了镂空的网状设计,可使铜丝在退火炉内受热更均匀。
技术领域
本实用新型涉及退火炉技术领域,具体是一种铜丝加工用高效节能退火炉。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的,可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
在用退火炉对铜丝进行加热时,炉体的温度会很高,此时,若工作人员用手去开炉门,稍不留意可能就会被烫伤,另外,铜丝在退火炉里加热可能会有受热不均的问题,因此,本领域技术人员提供了一种铜丝加工用高效节能退火炉,以解决上述背景技术中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种铜丝加工用高效节能退火炉,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种铜丝加工用高效节能退火炉,包括炉体,所述炉体的前表面转动连接有炉门,且炉体与炉门之间设置有自动开门器,所述炉体的内侧位于底部位置处设置有高度调节托盘,所述炉门的一侧设置有与炉体相连控制面板;
所述自动开门器包括固定在炉体前侧顶端位置处的壳体,所述壳体的内部设置有电机,所述电机的端部固定有第一齿轮,所述第一齿轮的一侧转动连接有第二齿轮,所述第二齿轮的下方固定有第一转动杆,所述第一转动杆的一端转动连接有第二转动杆,所述第二转动杆的一端转动连接有三角片,所述三角片与炉门之间通过连接片固定连接;
所述高度调节托盘包括放置在炉体内侧底部位置处的脚套,所述脚套的上方设置有连接套,且脚套与连接套之间通过第二丝杆转动连接,所述连接套的上方设置有盘面,且连接套与盘面之间通过第一丝杆转动相连。
作为本实用新型更进一步的方案,所述第一齿轮的齿牙与第二齿轮的齿牙相啮合,所述第一转动杆与电机之间通过第一齿轮的齿牙与第二齿轮转动相连。
作为本实用新型更进一步的方案,所述盘面为一种上下镂空的网状构件,且盘面的孔洞周长为4cm。
作为本实用新型更进一步的方案,所述第一丝杆与第二丝杆尺寸相同,且第一丝杆与第二丝杆的长度均为连接套长度的二分之一,所述第一丝杆与第二丝杆的丝牙方向相反,所述连接套内部以中线为基准分别设置有与第一丝杆与第二丝杆一一对应的内螺纹。
作为本实用新型更进一步的方案,所述高度调节托盘的数量不少于三组。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型设计巧妙,方便实用,自动开门器的设计能够避免在使用退火炉给铜丝加热之后,炉体温度过高,工作人员手动开关炉门可能存在的危险;另外,高度调节托盘能适应同时对不同数量和体积的铜丝进行加热,盘面的高度可通过两个丝杆进行调节,同时,盘面做了镂空的网状设计,可使铜丝在退火炉内受热更均匀,加热效果更好。
附图说明
图1为一种铜丝加工用高效节能退火炉的结构示意图;
图2为一种铜丝加工用高效节能退火炉中自动开门器的结构示意图;
图3为图1一种铜丝加工用高效节能退火炉中A处高度调节托盘的结构示意图。
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