[实用新型]一种刀片镀膜机

说明书

本实用新型涉及一种刀片镀膜机，还包括防护机构，所述防护机构包括至少3个磁性柱、与磁性柱个数相同的具有磁性的导向套、侧防护片和上防护片，磁性柱等间距的固定在转动圆盘外圈，侧防护片设置在导向套与导向套之间形成防护筒，所述上防护片设置在防护筒的顶部，上防护片上设有供钨螺旋加热子穿过的通孔，转动圆盘底部设有用于防护套嵌入的环形槽。通过在转动圆盘上设置环形槽用于防护套嵌入，从而提高防护套与转动圆盘之间的密封性能，避免镀膜机工作的时候溅射物从防护机构与圆形转盘之间溅射到镀膜机本体的内壁上，另外，磁性柱与导向套之间为磁性连接，有效避免因为镀膜机工作抖动而使防护机构会与原型转盘分离，保证防护机构的有效性。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种刀片镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有的镀膜机为了防止镀膜机内部溅射，通常会设置一个防止溅射的防护机构，如申请号为2019208069022中公开的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机。实际应用证明，此种防护机构由于与圆形转盘之间为自由状态，防护机构与圆形转盘之间密封性能差，在工作的时候，由于设备抖动，防护机构会与圆形转盘出现短暂分离，溅射物容易从防护机构与圆形转盘之间溅射到镀膜机本体的内壁上，存在防护效果差的问题。

实用新型内容

针对背景技术中的不足，本实用新型提供一种刀片镀膜机。

本实用新型所采用的技术方案是：一种刀片镀膜机，包括底座、设置在底座上的镀膜机本体、设置在镀膜机本体上的驱动总成、与驱动总成连接的钨螺旋加热子、设置在底座上的连接杆、设置在镀膜机本体上的观察窗以及设置镀膜机本体下方的转动圆盘，还包括防护机构，所述防护机构包括至少3个磁性柱、与磁性柱个数相同的具有磁性的导向套、侧防护片和上防护片，所述磁性柱等间距的固定在转动圆盘外圈，所述侧防护片设置在导向套与导向套之间形成防护筒，所述上防护片设置在防护筒的顶部，所述上防护片上设有供钨螺旋加热子穿过的通孔，所述的转动圆盘底部设有用于防护套嵌入的环形槽。

进一步的，所述磁性柱为磁性金属或耐高温磁性橡胶。

进一步的，所述导向套由耐高温磁性橡胶制成。

进一步的，所述磁性柱外周的转动圆盘上设有环槽，所述环槽内固定有磁性环。

进一步的，所述侧防护片和上防护片由耐高温的透明塑料制成。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在转动圆盘上设置环形槽用于防护套嵌入，从而提高防护套与转动圆盘之间的密封性能，避免镀膜机工作的时候溅射物从防护机构与圆形转盘之间溅射到镀膜机本体的内壁上，另外，磁性柱与导向套之间为磁性连接，有效避免因为镀膜机工作抖动而使防护机构会与原型转盘分离，保证防护机构的有效性。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本发明还有其他的目的、特征和优点。

下面将参照图，对本发明作进一步详细的说明。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为镀膜机本体的内部示意图。

图3为转动圆盘和防护机构的俯视示意图。