[实用新型]一种光学基片包装盒

说明书

本实用新型公开了一种光学基片包装盒，包括上盖和上端开口的盒体，上盖的底端面上开设有环形榫槽，盒体的顶端面上设有与环形榫槽配合的榫部；或，盒体的顶端面上开设有环形榫槽，上盖的底端面上设有与环形榫槽配合的榫部；上盖和盒体通过榫槽配合形成具有密闭内腔的光学基片包装盒；上盖的侧面开设有连通外界与包装盒内腔的缺口，上盖上设有打开或关闭缺口的封盖；盒体相对的两个侧面上开设有多个一一对应第一卡槽，第一卡槽沿盒体的高度方向延伸，彼此对应的两个第一卡槽之间形成光学基片的卡设空间，多个第一卡槽沿盒体的长度或宽度方向间隔布置。该光学基片包装盒密封方式简单且密封效果好，并且能够确保光学基片运输过程中不被污染和损伤。

技术领域

本实用新型涉及半导体包装技术领域，尤其涉及一种光学基片包装盒。

背景技术

匀胶铬版是在特种玻璃基片上镀上一层铬膜、再在铬膜上镀上一层感光胶，主要用作集成电路制造过程中的光掩膜材料。

光掩膜铬版传送、运输以及装取片要求如下：

1）光掩膜铬版是易碎物，不得有甩、碰，运输过程基片不晃动。

2）运输及装取片时不得有颗粒物进入包装盒内，这点尤为重要，细小颗粒物会附着在匀胶铬版表面形成污染源，大颗粒物则极有可能会破坏匀胶铬版表面的铬膜和感光胶层。

CN 203740375 U为申请人前期设计的一种玻璃基片包装盒，上盖和下盖的密封方式为：通过在上盖上设置卡扣，两边卡扣先依靠自身弹性撑开再扣合在下盖上，最后再上中间缠一圈胶带。这种密封方式浪费胶带，导致密封成本增加；且密封解封过程较为繁琐，胶带使用不当，极易污染光掩膜铬版。此外，CN 203740375 U需要额外设置内支架以固定光学基片，否则难保证光掩膜铬版在运输过程中不晃动。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种密封方式简单且密封效果好，并且确保光学基片运输过程中不被污染和损伤的光学基片包装盒。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种光学基片包装盒，包括上盖和上端开口的盒体，所述上盖的底端面上开设有环形榫槽，所述盒体的顶端面上设有与环形榫槽配合的榫部；或，所述盒体的顶端面上开设有环形榫槽，所述上盖的底端面上设有与环形榫槽配合的榫部；所述上盖和盒体通过榫槽配合形成具有密闭内腔的光学基片包装盒；

所述上盖的侧面开设有连通外界与包装盒内腔的缺口，所述上盖上设有打开或关闭所述缺口的封盖；

所述盒体相对的两个侧面上开设有多个一一对应第一卡槽，所述第一卡槽沿盒体的高度方向延伸，彼此对应的两个第一卡槽之间形成光学基片的卡设空间，多个第一卡槽沿盒体的长度或宽度方向间隔布置。

由于采用榫卯配合的嵌入式结构将上盖和盒体卡合形成密闭的包装盒，在运输过程中外界的空气不会进入包装盒内，从而保证了盒内的洁净。嵌入式结构密封效果好，无需额外加缠密封胶带，从而节约了密封成本，也避免了外加胶带带来的污染。

在打开上盖取片时，打开封盖，使空气进入包装盒内，从而上盖在开启过程中，盒内与盒外气压平衡，以避免由于盒内负压导致外界空气以气流方式冲击光学基片，造成盒内匀胶铬版污染。

上盖在上提过程中，盒内与盒外气压平衡，不会形成负压，外界的空气不会压入盒内，从而不会造成盒内匀胶铬版污染。

第一卡槽用以挡住基片的左右两端，较好地防止了基片左右移动，并且不会对基片产生擦伤，因而无需设置内支架，成本进一步降低。第一卡槽优选U型槽。

作为上述技术方案的进一步改进：