[实用新型]调节激光传感器同轴度的装置

说明书

本实用新型涉及一种调节激光传感器同轴度的装置，包括C型架（1）、固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装板（7）上，该调节安装板（7）固定安装在所述的Z轴调节机构（4）上，激光传感器通过激光器安装板固定安装在所述的Y轴调节机构（8）上。本实用新型的优点是：能够实现X、Y、Z轴方向的微调，从而有利于激光传感器同轴度的调整，确保激光传感器反馈出精确的数值，提高了激光传感器的测量精度，节省了调试时间。

技术领域

本实用新型涉及一种调节激光传感器同轴度的装置，涉及薄膜制造领域。

背景技术

在薄膜生产过程中，为了控制薄膜的厚度，需要用到激光传感器来测量薄膜厚度数据。为了提高传感器精度，上、下传感器必须保证同轴度。常规设备中，上下激光头只能上下调节，很难保证同轴度。为了保证同轴度，需要设计一个装置能够满足X、Y、Z轴的调节。

发明内容

为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种调节激光传感器同轴度的装置，本实用新型的技术方案是：

一种调节激光传感器同轴度的装置，包括C型架（1），在该C型架（1）的开口端安装有两个同轴设置的上激光传感器（5）和下激光传感器（6），所述的上激光传感器（5）和下激光传感器（6）均通过调节机构安装在所述的C型架（1）上，所述的调节机构包括固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装板（7）上，该调节安装板（7）固定安装在所述的Z轴调节机构（4）上，上激光传感器或下激光传感器通过激光器安装板固定安装在所述的Y轴调节机构（8）上。

所述的X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4）的结构相同，均包括顶板（3-1）、微调旋钮（3-2）、导向槽（3-3）、底板（3-4）、锁紧螺钉（3-5）、顶块（3-6）和拉簧（3-7），

在所述的底板（3-4）上安装有滑轨，两根滑轨之间形成拉簧安装槽（3-8），所述的顶板（3-1）安装在底板（3-4）的上部，与所述的底板（3-4）滑动配合，在所述的拉簧安装槽（3-8）内安装有一拉簧（3-7），该拉簧的一端连接在底板（3-4）上，另一端连接在顶板（3-1）上；在该底板（3-4）的一侧安装有微调旋钮安装板（3-10），另一侧安装有锁紧螺钉安装板（3-9），所述的微调旋钮（3-2）安装在微调旋钮安装板（3-10）上，与所述的微调旋钮安装板（3-10）螺纹配合；在所述的锁紧螺钉安装板（3-9）上设置有条形孔，所述的锁紧螺钉（3-5）穿过条形孔后，与所述的顶板（3-1）螺纹配合；在所述的顶板（3-1）的一侧安装有一顶块（3-6），该顶块（3-6）接近所述的微调旋钮（3-2），与所述的微调旋钮（3-2）螺纹配合。

所述的C型架为大理石C型架。

本实用新型的优点是：能够实现X、Y、Z轴方向的微调，从而有利于激光传感器同轴度的调整，确保激光传感器反馈出精确的数值，提高了激光传感器的测量精度，节省了调试时间。

附图说明

图1是本实用新型的主体结构示意图。

图2是图1的后视图。

图3是图1中X轴调节机构、Y轴调节机构或Z轴调节机构的结构示意图。

图4是图3去除顶板后的结构示意图。

具体实施方式