[实用新型]一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置

权利要求书

1.一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，包括腔体(1)和芯棒(2)，其特征在于：还包括两组OVD喷灯(3)、夹具(4)、伺服电机(5)、压力传感器(6)和废气出口(7)；所述的芯棒(2)设于腔体(1)内的中心位置，芯棒(2)两端通过夹具(4)与腔体(1)侧壁连接，芯棒(2)的端部设有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的输出轴与芯棒(2)连接，用于带动芯棒(2)在腔体(1)内旋转；所述的芯棒(2)一侧设有两组OVD喷灯(3)，所述的两组OVD喷灯(3)围绕芯棒(2)的周向排布，OVD喷灯(3)与所述芯棒(2)的表面之间留有间隙，两组OVD喷灯(3)的喷口朝向芯棒(2)的表面，所述的芯棒(2)旋转时，两组OVD喷灯(3)对芯棒(2)表面进行颗粒沉积；所述的腔体(1)上部设有若干废气出口(7)，腔体(1)内产生的反应气体由所述废气出口(7)排出；废气出口(7)一侧的腔体(1)外侧壁上设有压力传感器(6)。

2.根据权利要求1所述的一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，其特征在于：所述的OVD喷灯(3)包括并列设置的多组原料管路(31)、多组惰性气体管路(32)、多组可燃性气体管路(33)以及多组氧化剂管路(34)，所述惰性气体管路(32)、可燃性气体管路(33)和氧化剂管路(34)的出气口偏向所述原料管路(31)的出气口；其中，所述的多组原料管路(31)设于OVD喷灯(3)的中心位置，原料管路(31)之间交错排布；原料管路(31)的两侧对称设置惰性气体管路(32)，所述的惰性气体管路(32)之间平行设置；惰性气体管路(32)的外侧设置可燃性气体管路(33)，所述的可燃性气体管路(33)之间平行设置；可燃性气体管路(33)的外侧设置氧化剂管路(34)，所述的氧化剂管路(34)之间平行设置；所述的可燃性气体管路(33)与氧化剂管路(34)之间采用交错排布。

3.根据权利要求2所述的一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，其特征在于：所述原料管路(31)、惰性气体管路(32)、可燃性气体管路(33)以及氧化剂管路(34)上均设有球状缓冲腔(35)。

4.根据权利要求2所述的一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，其特征在于：所述的原料管路(31)内设置硅基原料与氧气的混合气体；所述的惰性气体管路(32)内设置氩气；所述的可燃性气体管路(33)内设置氢气或甲烷；所述的氧化剂管路(34)内设置氧气。

5.根据权利要求1所述的一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，其特征在于：所述的两组OVD喷灯(3)之间的设置角度为30~35°。

6.根据权利要求1所述的一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，其特征在于：所述的OVD喷灯(3)上设有用于检测芯棒直径的CCD照相机(8)。

7.根据权利要求1所述的一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，其特征在于：所述芯棒(2)上还设有用于检测芯棒重量的重量探测器(9)。

8.根据权利要求1所述的一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置，其特征在于：所述OVD喷灯(3)的长度与芯棒(2)上需要加工的长度一致。