[实用新型]一种光刻胶灌装机用空气过滤装置

说明书

本实用新型涉及光刻胶灌装机空气过滤技术领域，尤其涉及一种光刻胶灌装机用空气过滤装置,解决了现有光刻胶灌装过程中易受到粉尘污染影响质量的缺点，包括装置底座，所述装置底座的顶部设置有立架，所述立架的内部通过轴承连接有导杆，立架的底部一侧还通过螺栓固定有升降电机，所述导杆的外侧套设有连接块，其通过连接块螺栓固定有水平设置的电动伸缩缸，所述电动伸缩缸的伸缩端连接有挡尘罩，所述挡尘罩的内部活动连接有挡尘盖，挡尘罩的一侧通过螺栓固定有开关电机，挡尘罩的两侧还分别通过螺栓固定有负压风机和过滤头，通过负压风机抽取挡尘罩内的空气，并利用滤网实现对灰尘的过滤，防止空气中的灰尘对光刻胶造成污染，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶灌装机空气过滤技术领域，尤其涉及一种光刻胶灌装机用空气过滤装置。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。

光刻胶生产灌装过程中，常常会因为空气中的粉尘遭到污染，影响光刻胶的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有光刻胶灌装过程中易受到粉尘污染影响质量的缺点，而提出的一种光刻胶灌装机用空气过滤装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种光刻胶灌装机用空气过滤装置，包括装置底座，所述装置底座的顶部设置有立架，所述立架的内部通过轴承连接有导杆，立架的底部一侧还通过螺栓固定有升降电机，所述导杆的外侧套设有连接块，其通过连接块螺栓固定有水平设置的电动伸缩缸，所述电动伸缩缸的伸缩端连接有挡尘罩，所述挡尘罩的内部活动连接有挡尘盖，挡尘罩的一侧通过螺栓固定有开关电机，挡尘罩的两侧还分别通过螺栓固定有负压风机和过滤头，挡尘罩和挡尘盖的上下端部均胶黏有挡风气囊。

优选的，所述升降电机的输出轴和导杆的底部外侧均套接有传动带轮，所述传动带轮的外侧绕设有传动带。

优选的，所述导杆的表面设有螺纹，所述连接块的内壁开设有与其表面螺纹对应的螺纹槽。

优选的，所述挡尘罩的内壁开设有导槽，所述挡尘盖的外侧设置有与导槽对应的导块。

优选的，所述过滤头的内壁卡接有三个滤网。

优选的，所述开关电机的输出轴套接有主动齿轮，所述主动齿轮的表面设有轮齿，所述挡尘盖的底部外侧开设有与轮齿啮合的齿槽。

本实用新型的有益效果是：

1、通过升降电机驱动导杆转动，导杆转动带动螺纹连接的连接块一侧螺栓固定的电动伸缩缸实现升降，方便调节空气过滤装置的高度，适应不同灌装容器的高度。

2、在挡尘罩的一侧内部通过滑动连接挡尘盖，并在挡尘罩的一侧外部螺栓固定输出轴套接有主动齿轮的开关电机，使其带动底部外侧开设有与主动齿轮啮合齿槽的挡尘盖实现在挡尘罩内壁滑动，方便套入灌装机出胶口和灌装容器间。

3、通过负压风机抽取挡尘罩内的空气，并利用滤网实现对灰尘的过滤，防止空气中的灰尘对光刻胶造成污染，实用性强。

4、在挡尘罩和挡尘盖的上下端均胶黏挡风气囊，使挡风气囊上下部分别与灌装机出胶底部和灌装容器顶部贴合接触，防止空气从过滤装置上下进入内部。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种光刻胶灌装机用空气过滤装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种光刻胶灌装机用空气过滤装置的局部俯视剖视结构示意图；

图3为图1中的A处局部剖视结构示意图。