[实用新型]一种卷料放卷装置及原子层沉积设备

权利要求书

1.一种卷料放卷装置，其特征在于，所述卷料放卷装置包括：

机座；

两组支撑件，两组所述支撑件间隔设置于所述机座上；

转轴，所述转轴的两端分别转动设置于两组所述支撑件上，所述转轴上套设有卷料；

压料机构，所述压料机构设置于所述机座上，所述卷料上绕卷有料条，所述压料机构用于将所述料条压紧于所述卷料上。

2.如权利要求1所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述压料机构包括：

两弧形支杆，两所述弧形支杆间隔设置，两所述弧形支杆朝向地面的一端铰接于所述机座上；

压辊，所述压辊转动设置于两所述弧形支杆上，所述压辊的轴线与所述转轴的轴线平行；

其中，所述压辊用于将所述料条压紧于所述卷料上。

3.如权利要求2所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述弧形支杆朝向所述转轴的方向凹陷形成弧形结构。

4.如权利要求1所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述卷料放卷装置还包括：

至少两滚动件，至少两所述滚动件铰接于所述机座上，至少两所述滚动件沿所述转轴的轴线方向间隔设置；

其中，所述机座沿所述转轴的轴线方向往复运动时，至少两所述滚动件沿所述转轴的轴线方向滚动。

5.如权利要求4所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述卷料放卷装置还包括：

两组滑动件，两组所述滑动件设置于所述机座上，两组所述支撑件分别滑动设置于两组所述滑动件上。

6.如权利要求5所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述支撑件包括：

底座，所述底座滑动设置于所述滑动件上；

支撑架，所述支撑架设置于所述底座上，所述支撑架上设置有通孔，所述转轴转动设置于所述通孔内。

7.如权利要求6所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述支撑架上还设置有加强筋，所述加强筋连接所述底座和所述支撑架。

8.如权利要求6所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述卷料放卷装置还包括：

至少一连接杆，每根所述连接杆的两端分别连接两所述底座。

9.如权利要求6所述的卷料放卷装置，其特征在于，所述转轴的周壁上设置有若干紧固凸起；

其中，所述卷料套设于所述转轴后，所述紧固凸起用于将所述卷料固定于所述转轴上。

10.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的卷料放卷装置，所述原子层沉积设备还包括：

原子层沉积装置，所述原子层沉积装置接收所述转轴上的所述卷料，并对所述卷料进行原子层沉积作业。