[实用新型]一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体有效
| 申请号： | 202020670384.9 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN212378499U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王俊朝;寇宗和 | 申请（专利权）人： | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D11/02 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 彭光荣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 cvd 设备 粗炉丝无 变压器 | ||
1.一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，其特征在于：包括炉丝骨架、内保温层、外保温层和不锈钢外壳，所述炉丝骨架由电炉丝和支撑骨架组成，所述电炉丝设有多段，多段电炉丝之间互相绝缘，所述电炉丝为环形粗电炉丝，所述内保温层套接在炉丝骨架外侧，所述外保温层套接在内保温层外侧，所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧。
2.根据权利要求1所述一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，其特征在于：所述电炉丝上还设有引出接头，所述引出接头设有多个，多个引出接头对应设置在电炉丝的中部。
3.根据权利要求2所述一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，其特征在于：所述电炉丝设有五段，所述引出接头设有十个，每段电炉丝的首尾两端各设一个引出接头。
4.根据权利要求1所述一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，其特征在于：所述支撑骨架设有多个，多个支撑骨架均匀地固定在环形电炉丝的一周，所述支撑骨架由多个安装块和将安装块连接在一起的长销钉构成。
5.根据权利要求4所述一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，其特征在于：所述内保温层和外保温层均为保温棉，所述内保温层由多块保温棉构成。
6.根据权利要求5所述一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，其特征在于：所述内保温层对应支撑骨架设置，多块保温棉分别卡接在支撑骨架之间的电炉丝上。
7.根据权利要求5所述一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，其特征在于：所述外保温层为筒状保温棉，所述不锈钢外壳包括两个半筒状壳体，两个半筒状壳体将筒状保温棉卡在内保温层外侧。
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