[实用新型]三氯氢硅净化系统

权利要求书

1.一种三氯氢硅净化系统，其特征在于，包括：

添加剂预处理装置，所述添加剂预处理装置具有金属单质入口、有机溶剂入口和添加剂出口；

三氯氢硅预处理装置，所述三氯氢硅预处理装置具有三氯氢硅粗品入口、添加剂入口和混合物料出口，所述添加剂入口与所述添加剂出口相连；

精馏装置，所述精馏装置具有物料入口和精制三氯氢硅出口，所述物料入口与所述混合物料出口相连。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅净化系统，其特征在于，所述精馏装置包括：

第一精馏塔，所述第一精馏塔具有混合物料入口、第一塔顶馏分出口和第一塔釜馏分出口，所述混合物料入口与所述混合物料出口相连；

第二精馏塔，所述第二精馏塔具有第一塔顶馏分入口、第二塔顶馏分出口和第二塔釜馏分出口，所述第一塔顶馏分入口与所述第一塔顶馏分出口相连；

第三精馏塔，所述第三精馏塔具有第二塔釜馏分入口、第三塔顶馏分出口和第三塔釜馏分出口，所述第二塔釜馏分入口与所述第二塔釜馏分出口相连。