[实用新型]一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡及关键结构

说明书

本实用新型公开了一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡，包括探针卡所述探针卡表面连接有若干探针，探针卡表面中心固定安装有束流框二，若干探针穿过束流框二且连接有焊点二，束流框二的外侧设有固定安装与探针卡表面的束流框一，若干探针穿过束流框一且连接有焊点一，所述束流框一的外侧设有固定安装于探针卡表面的束针框，若干探针贯穿束针框，本实用新型通过在探针卡上设置两束流框，将焊点点在束流框上，加固探针与探针卡连接强度的同时，抑制助焊剂的扩散，充分发挥助焊剂的促焊作用。

技术领域

本实用新型涉及一种探针卡，具体是一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡及关键结构。

背景技术

探针卡技术不是伴随MEMS技术发展的，建议修改为“在半导体测试领域，电性能越来越极端，总是更加节距和密度的增加，机械精度高，测试温度高达200摄氏度，时间周期缩短，并行性高，最终易于修复，维护简单，MEMS技术提供了更先进的解决方案。

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一；

探针卡在焊接上探针时经常需要用到助焊剂，用于促进焊接过程，但是，现有的探针卡不具备抑制助焊剂扩散的功能，导致助焊剂的实际作用不大，且有可能影响到探针与探针卡的焊接强度。因此，本实用新型提供了一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡，包括探针卡，其特征在于，所述探针卡上设置有抑制结构和束制结构；

所述探针卡抑制结构包括探针卡表面连接的若干探针，探针卡表面中心固定安装有束流框二，若干探针穿过束流框二且连接有焊点二，所述束流框二的外侧设有固定安装与探针卡表面的束流框一，若干探针穿过束流框一且连接有焊点一；

所述探针卡的束制结构包括束流框一的外侧设置的束针框，束针框固定安装于探针卡表面的，若干探针均贯穿束针框。

作为本实用新型进一步的方案：所述束流框一为矩形框体，且框体表面开设有开槽一。

作为本实用新型再进一步的方案：所述束流框二为环形框体，且框体表面开设有开槽二。

作为本实用新型再进一步的方案：所述焊点一和焊点二分别位于束流框一和束流框二上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述探针卡表面呈正方形，且探针卡表面四角处均开设有通孔。

一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡用关键结构，所述所述关键结构为抑制结构，包括探针卡表面连接的若干探针，探针卡表面中心固定安装有束流框二，若干探针穿过束流框二且连接有焊点二，所述束流框二的外侧设有固定安装与探针卡表面的束流框一，若干探针穿过束流框一且连接有焊点一。

一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡用关键结构，为抑制结构，包括探针卡表面连接的若干探针，探针卡表面中心固定安装有束流框二，若干探针穿过束流框二且连接有焊点二，所述束流框二的外侧设有固定安装与探针卡表面的束流框一，若干探针穿过束流框一且连接有焊点一。

一种改善助焊剂扩散的MEMS悬臂探针卡用关键结构，为束制结构，包括束流框一的外侧设置的束针框，束针框固定安装于探针卡表面的，若干探针均贯穿束针框。