[实用新型]一种基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器

权利要求书

1.一种基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器，包括衬底(1)，其特征在于：所述衬底(1)上覆盖有调制层(2)，所述调制层(2)上通过镀膜-刻蚀设有非金属光栅层(3)，所述非金属光栅层(3)上通过镀膜设有金属光栅层(4)，所述衬底(1)两侧分别通过镀膜设有电极一(5)与电极二(6)，所述调制层(2)为石墨烯。

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器，其特征在于：所述石墨烯直接生长或者转移至所述衬底(1)上，所述石墨烯为单层或者多层，所述石墨烯形状为一片完整的石墨烯或石墨烯纳米带阵列。

3.根据权利要求1所述的基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器，其特征在于：所述非金属光栅层(3)的材料为硅，且镀膜沉积于所述调制层(2)的上方，通过刻蚀工艺形成所述非金属光栅层(3)。

4.根据权利要求1所述的基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器，其特征在于：所述金属光栅层(4)的材料为铝，镀膜沉积于所述非金属光栅层(3)的上表面，且位于所述非金属光栅层(3)狭缝中的所述调制层(2)的上方。

5.根据权利要求1所述的基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器，其特征在于：所述电极一(5)沉积在未被所述调制层(2)覆盖的所述衬底(1)上方，且电极的材料为金、银、铜金属，所述衬底(1)的材料为硅。

6.根据权利要求1所述的基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器，其特征在于：所述电极二(6)沉积在以所述非金属光栅层(3)延伸部分的所述调制层(2)的上方，电极的材料为金、银、铜金属。

7.根据权利要求2所述的基于石墨烯等离子体的宽带透射式红外光调制器，其特征在于：所述石墨烯的层数为15层，所述非金属光栅层(3)的周期为(P)＝250nm，高度(H1)＝700nm，宽度(W)＝110nm，所述金属光栅层(4)的厚度(H2)＝50nm。