[实用新型]超声换能器、信息采集元件及电子设备

权利要求书

1.一种超声换能器，其特征在于，包括：

振膜层、固定支撑层、可变支撑层以及衬底；

所述固定支撑层设置在所述衬底上，且设置在所述振膜层下方，并与所述振膜层固定连接，用于支撑所述振膜层；

所述可变支撑层设置于所述衬底与所述振膜层之间，所述可变支撑层与所述振膜层接触时，以提供第一频率，所述可变支撑层与所述振膜层分开时，以提供一个不同于所述第一频率的第二频率。

2.根据权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，所述振膜层依次包括第一上电极层、第一压电层、第一下电极层以及第一薄膜层；所述固定支撑层上表面与所述第一薄膜层固定连接；所述固定支撑层下表面与所述衬底固定连接。

3.根据权利要求2所述的超声换能器，其特征在于，所述可变支撑层包括：

第二下电极层，其设置在所述衬底上；

第二压电层，其设置在所述第二下电极层上；

第二上电极层，其设置在所述第二压电层上，且与所述第一薄膜层之间形成间隙，以使所述第二上电极层与所述第一薄膜层接触或分开；

当所述第二上电极层与所述薄膜层通电时，所述第二上电极层与所述第一薄膜层接触，提供所述第一频率，所述第二上电极与所述第一薄膜层分开，提供所述第二频率。

4.根据权利要求3所述的超声换能器，其特征在于，所述第一薄膜层、所述衬底与所述固定支撑层围合形成第一空腔,所述可变支撑层位于所述第一空腔内。

5.根据权利要求4所述的超声换能器，其特征在于，所述可变支撑层设置在所述固定支撑层的内侧面，且所述可变支撑层围合形成一个第二空腔。

6.根据权利要求5所述的超声换能器，其特征在于，所述第一上电极层在所述衬底上的投影位于所述第二空腔内。

7.根据权利要求2所述的超声换能器，其特征在于，所述可变支撑层包括：

第三支撑层，其设置在所述衬底上，

第三下电极层，其设置在所述第三支撑层上；

第三上电极层，其设置在所述第一薄膜层下，且与所述第三下电极层之间形成间隙；

当所述第三上电极层与所述第三下电极层通电时，所述第三上电极层与所述第三下电极层接触，以提供所述第一频率，所述第三上电极与所述第三下电极层分开，以提供所述第二频率。

8.根据权利要求7所述的超声换能器，其特征在于，所述第一薄膜层、所述衬底与所述固定支撑层围合形成第一空腔。

9.根据权利要求8所述的超声换能器，其特征在于，所述可变支撑层设置在所述固定支撑层的内侧面，且所述可变支撑层围合形成一个第二空腔。

10.根据权利要求9所述的超声换能器，其特征在于，所述第一上电极层在所述衬底上的投影位于所述第二空腔内。

11.根据权利要求4-6、8-10中任意一项所述的超声换能器，其特征在于，所述可变支撑层与所述固定支撑层间隔设置，且位于所述第一空腔的中心。

12.根据权利要求4-6、8-10中任意一项所述的超声换能器，其特征在于，所述超声换能器包括多个间隔设置在所述第一空腔内的可变支撑层。

13.根据权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，所述振膜层包括第四上电极层和设置在所述第四上电极层下方的第四薄膜层；所述超声换能器还包括第四绝缘层和第四下电极层；所述第四下电极层设置在所述衬底上；所述第四绝缘层设置在所述第四下电极层上；所述固定支撑层上表面与所述第四薄膜层固定连接，所述固定支撑层下表面与所述第四绝缘层或第四下电极层或衬底层之间。