[实用新型]一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器

权利要求书

1.一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：包括电离源(1)、入口电极(2)、多片圆环电极(3)、多片屏蔽网电极(4)、离子出口电极(5)和直流电源(6)；所述的电离源(1)、入口电极(2)、多片圆环电极(3)、多片屏蔽网电极(4)、离子出口电极(5)从左向右同轴心装配；

所述的直流电源(6)的两极分别连接到入口电极(2)和离子出口电极(5)两端；

所述的入口电极(2)、多片圆环电极(3)、多片屏蔽网电极(4)、离子出口电极(5)之间依次用电阻相连；

所述的屏蔽网电极(4)中心有开孔，开孔左侧面设置有导电网，用来屏蔽隔离导电网前后的电场，右侧敞开；所述的多片屏蔽网电极(4)的右侧敞口孔径从大逐渐缩小，组合形成漏斗状的开口；

所述入口电极(2)中心设有第一孔，所述离子出口电极(5)中心设有离子引出的第二孔；所述的入口电极(2)、多片圆环电极(3)、多片屏蔽网电极(4)、离子出口电极(5)之间采用绝缘密封垫片隔开，形成中空的离子化器腔(7)，或通过整体放入另一密封腔体内形成离子化器腔(7)。

2.根据权利要求1所述的一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：所述的直流电源(6)的两极分别连接到入口电极(2)和离子出口电极(5)两端，具体为：

用于正离子时，所述的直流电源(6)正极与入口电极(2)相连，负极和离子出口电极(5)相连；或者，用于负离子时，所述的直流电源(6)负极与入口电极(2)相连，正极和离子出口电极(5)相连。

3.根据权利要求1所述的一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：所述的屏蔽网电极(4)中心的开孔为圆柱形孔、锥柱形孔、球形孔或方形孔。

4.根据权利要求1所述的一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：所述的离子出口电极(5)中心的离子引出第二孔直径为0.1mm～5mm。

5.根据权利要求1所述的一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：所述的入口电极(2)中心第一孔直径为0.1mm～25mm。

6.根据权利要求1所述的一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：所述的电离源(1)为是放电离子源、光电离源、电子轰击电离源或电喷雾离子源。

7.根据权利要求1所述的一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：所述的离子化器腔(7)内气压为10Pa～1000Pa。