[实用新型]气体分布台和悬浮传动装置

权利要求书

1.一种气体分布台，其特征在于，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体设有多个原子层沉积单元，每一所述传动辊设于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；

或，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体包括多个子台体，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面。

2.如权利要求1所述的气体分布台，其特征在于，每一所述传动辊与所述本体活动连接；或，每一所述传动辊与所述子台体活动连接。

3.如权利要求2所述的气体分布台，其特征在于，所述本体还设有多个容纳槽，每一所述容纳槽位于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元连通，每一所述传动辊设于一所述容纳槽内，并突出所述容纳槽的槽口，且所述传动辊与所述容纳槽的槽壁之间具有间隔。

4.如权利要求3所述的气体分布台，其特征在于，所述气体分布台还包括设于所述本体的抽气装置，每一所述容纳槽的槽壁设有多个间隔排布的抽气孔，所述抽气装置与多个所述抽气孔连通，所述抽气装置用于抽离位于所述容纳槽内的气体。

5.如权利要求4所述的气体分布台，其特征在于，所述气体分布台还包括多个安装座，多个所述安装座分别设于所述本体相对两侧，每一所述传动辊的两端分别与两个所述安装座可拆卸连接。

6.如权利要求5所述的气体分布台，其特征在于，所述安装座包括：

基座，设于所述本体的外壁；和

安装块，抵接于所述基座，所述传动辊的一端与所述安装块可拆卸地连接。

7.如权利要求6所述的气体分布台，其特征在于，所述安装座还包括设于所述基座与所述安装块之间的垫片，所述垫片用于调节所述安装块在所述基座上的高度。

8.如权利要求7所述的气体分布台，其特征在于，所述基座包括底板和设于所述底板的第一侧板和第二侧板，所述底板与所述第一侧板、所述第二侧板呈夹角设置，所述底板、所述第一侧板及所述第二侧板围合形成安装槽，所述安装块放置于所述安装槽内。

9.如权利要求8所述的气体分布台，其特征在于，所述气体分布台还包括多个滚动轴承，每一所述滚动轴承设于一所述安装块，每一所述传动辊的两端分别插设于两个所述滚动轴承的中心孔处。

10.一种悬浮传动装置，其特征在于，所述悬浮传动装置包括如权利要求1至9中任意一项所述的气体分布台。