[实用新型]一种除脂装置有效
申请号: | 202020683429.6 | 申请日: | 2020-04-28 |
公开(公告)号: | CN211605110U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 杨帆;吴六一;沈先余;严鑫 | 申请(专利权)人: | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 孔鹏 |
地址: | 315400 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
1.一种除脂装置,用于对基板的边缘粘附的树脂进行清理,其特征在于,所述除脂装置包括托盘和清理件,所述托盘设置有用于对基板进行定位的夹持部,所述夹持部设置有用于暴露所述树脂的开口,所述清理件可活动地设置于所述托盘,以对从所述开口露出的粘附在所述基板边缘上的所述树脂进行清理。
2.根据权利要求1所述的除脂装置,其特征在于,所述夹持部设置有多个层叠分布的夹持区域,多个所述夹持区域均与所述开口连通,多个所述夹持区域用于分别夹持多个不同的所述基板,以对多个不同的所述基板进行定位。
3.根据权利要求2所述的除脂装置,其特征在于,所述托盘设置有引导槽,所述引导槽包括依次连接的第一侧壁、第二侧壁和第三侧壁,所述夹持部位于所述引导槽内,所述开口包括沿所述夹持部的周向依次连通的第一口、第二口、第三口和第四口,所述第一口朝向所述第一侧壁,所述第二口朝向所述第二侧壁,所述第三口朝向所述第三侧壁,所述引导槽用于引导所述基板从所述第四口进入所述夹持区域。
4.根据权利要求3所述的除脂装置,其特征在于,所述第一侧壁和所述第三侧壁上分别设置有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔与所述第一口连通,所述第二通孔与所述第三口连通;
所述清理件同时与所述第一侧壁和所述第三侧壁连接,所述清理件用于对通过所述第一口和所述第一通孔露出的粘附在所述基板其中一侧边缘上的树脂以及通过所述第三口和所述第二通孔露出的粘附在所述基板其中另一侧边缘上的树脂同时进行清理作业。
5.根据权利要求3所述的除脂装置,其特征在于,所述除脂装置还包括静电皮,所述静电皮的两侧分别抵接于所述第二侧壁和所述夹持部,所述静电皮用于封闭所述第二口。
6.根据权利要求3所述的除脂装置,其特征在于,所述除脂装置还包括挡板,所述挡板可拆卸地连接于所述托盘,以打开或封闭所述第四口。
7.根据权利要求3所述的除脂装置,其特征在于,所述清理件包括第一板、第二板和第三板,所述第一板、所述第二板和所述第三板依次连接,且形成U形结构,所述夹持部位于所述第一板和所述第三板之间,所述第二板可活动地连接于所述托盘,以使所述第一板和所述第三板能够分别对通过所述第一口和所述第三口露出的粘附在所述基板的相对边缘上的树脂进行清理。
8.根据权利要求7所述的除脂装置,其特征在于,所述第一板靠近所述第三板的一侧以及所述第三板靠近所述第一板的一侧均设置有多个间隔设置凸起。
9.根据权利要求3-8任一项所述的除脂装置,其特征在于,所述除脂装置还包括第一支撑柱,所述托盘可转动地连接于所述第一支撑柱,以使所述基板在重力作用下,能够沿所述引导槽的延伸方向从所述第四口进入所述夹持区域。
10.根据权利要求9所述的除脂装置,其特征在于,所述除脂装置还包括第二支撑柱和紧固件,所述第二支撑柱与所述第一支撑柱间隔设置,所述紧固件可拆卸地连接于所述第二支撑柱和所述托盘,以在第一状态与第二状态之间切换;
在所述第一状态下,所述紧固件同时连接于所述第二支撑柱和所述托盘,所述托盘与所述第二支撑柱相对固定,所述托盘不能相对于所述第一支撑柱转动;
在所述第二状态下,所述紧固件脱离于所述第二支撑柱和/或所述托盘,所述托盘相对于所述第一支撑柱可转动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造